[發(fā)明專利]一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置及其進氣方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710638370.1
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN109321895B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發(fā)明（設計）人: 紀紅;李春雷;趙磊超;秦海豐
• 申請（專利權）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權代理有限公司 11315
• 代理人: 周永強

1.一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，包括主進氣單元和副進氣單元，所述主進氣單元用于傳輸前驅體A，副進氣單元用于傳輸前驅體B，其特征在于，所述主進氣單元包括攜帶氣體源A、儲存器A以及和儲存器A并聯(lián)的旁路A，攜帶氣體源A同時連接儲存器A和旁路A，且儲存器A和旁路A并聯(lián)，儲存器A和旁路A同時連接供應管路A；所述副進氣單元包括攜帶氣體源B、儲存器B以及和儲存器B并聯(lián)的旁路B，攜帶氣體源B同時連接儲存器B和旁路B，且儲存器B和旁路B并聯(lián)，儲存器B和旁路B同時連接供應管路B；在傳輸前驅體A的過程中，攜帶氣體源A中的攜帶氣體A進入儲存器A，并攜帶前驅體A進入ALD反應腔室，同時，攜帶氣體源B中的攜帶氣體B通過旁路B以及連接供應管路B進入ALD反應腔室；在傳輸前驅體B的過程中，攜帶氣體B進入儲存器B，并攜帶前驅體B進入ALD反應腔室，同時，攜帶氣體A通過旁路A以及連接供應管路A進入ALD反應腔室；所述主進氣單元并聯(lián)稀釋管路A，所述稀釋管路A一端連接稀釋流量計A，另一端連接所述供應管路A；所述副進氣單元并聯(lián)稀釋管路B，所述稀釋管路B一端連接稀釋流量計B，另一端連接所述供應管路B。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述主進氣單元還包括攜帶流量計A、三通脈沖閥A、供應管路A，所述三通脈沖閥A連接所述儲存器A、攜帶流量計A和旁路A，攜帶流量計A的另一端連接攜帶氣體源A，旁路A和儲存器A的另一端均連接所述供應管路A；

所述副進氣單元還包括攜帶流量計B、三通脈沖閥B、供應管路B，所述三通脈沖閥B連接所述儲存器B、攜帶流量計B和旁路B，攜帶流量計B的另一端連接攜帶氣體源B，旁路B和儲存器B的另一端均連接所述供應管路B；

在傳輸前驅體A的過程中，攜帶氣體A通過所述攜帶流量計A和三通脈沖閥A進入儲存器A，并攜帶前驅體A經(jīng)過供應管路A進入ALD反應腔室，攜帶氣體B通過所述攜帶流量計B、三通脈沖閥B、旁路B和供應管路B進入ALD反應腔室；

在傳輸前驅體B的過程中，攜帶氣體B通過所述攜帶流量計B和三通脈沖閥B進入儲存器B，并攜帶前驅體B經(jīng)過供應管路B進入ALD反應腔室，攜帶氣體A通過所述攜帶流量計A、三通脈沖閥A、旁路A和供應管路A進入ALD反應腔室。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述三通脈沖閥的導通狀態(tài)通過PLC系統(tǒng)控制。

4.根據(jù)權利要求2所述的一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，其特征在于，稀釋氣體源A和稀釋氣體源B均為氮氣。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述攜帶流量計A、攜帶流量計B、稀釋流量計A和稀釋流量計B中的流速保持不變。

6.根據(jù)權利要求4所述的一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述稀釋流量計A的氣體流速大于所述攜帶流量計A中的氣體流速，所述稀釋流量計B的氣體流速大于所述攜帶流量計B中的氣體流速。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種用于ALD工藝的氣體傳輸裝置，其特征在于，所述攜帶氣體源A和攜帶氣體源B均為氮氣。

8.一種采用權利要求1所述的氣體傳輸裝置進行ALD工藝氣體傳輸?shù)姆椒ǎㄒ韵虏襟E：

S01：前驅體A進入腔室：稀釋氣體經(jīng)過流量計A進入稀釋管路A，攜帶氣體A進入儲存器A，并攜帶前驅體A與稀釋管路A中的稀釋氣體匯合后，進入ALD反應腔室，攜帶氣體B通過旁路B進入ALD反應腔室；

S02：前驅體A的吹掃：稀釋氣體經(jīng)過流量計A進入稀釋管路A，攜帶氣體A與稀釋管路A中的稀釋氣體匯合后，通過旁路A進入ALD反應腔室，同時攜帶氣體B通過旁路B進入ALD反應腔室；

S03：前驅體B進入腔室：稀釋氣體經(jīng)過流量計B進入稀釋管路B，攜帶氣體B進入儲存器B，并攜帶前驅體B與稀釋管路B中的稀釋氣體匯合后，進入ALD反應腔室，攜帶氣體A通過旁路A進入ALD反應腔室；

S04：前驅體B的吹掃：稀釋氣體經(jīng)過流量計B進入稀釋管路B，攜帶氣體B通過旁路B與稀釋管路B中的稀釋氣體匯合后，進入ALD反應腔室，同時攜帶氣體A通過旁路A進入ALD反應腔室。