[發明專利]能夠控制輸出電流的供電裝置及利用其的供電方法

有效

• 申請號: 201710638057.8
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN108511311B
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 成原鏞;丘根完;李秉國;柳承喜;林昌燮;文洪權
• 申請（專利權）人: 株式會社新動力等離子體;成均館大學校產學協力團
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;王朋飛

1.一種能夠控制輸出電流的供電裝置，用于在等離子體發生器內維持等離子體，其特征在于，包括：

開關電源，包括整流器、逆變器及移相器；

變壓器，包括鐵氧體磁芯和初級繞組，所述鐵氧體磁芯設置于所述等離子體發生器，所述初級繞組與所述開關電源相連接并且卷繞于所述鐵氧體磁芯；

共振網絡，連接在所述開關電源與所述等離子體源之間，包括共振電感器及共振電容器，所述共振電感器與初級繞組串聯，所述共振電容器與所述等離子體源并聯并與所述共振電感器串聯；以及

控制部，為了對向所述共振網絡提供的電壓及電流進行相移而對所述開關電源進行控制，

其中所述共振網絡進一步包括附加電感器，所述附加電感器包括一端與所述共振電容器串聯且另一端接地連接以增加所述逆變器的零電壓開關(zvs)的頻率范圍。

2.根據權利要求1所述的能夠控制輸出電流的供電裝置，其特征在于，所述逆變器包括半橋逆變器。

3.根據權利要求1所述的能夠控制輸出電流的供電裝置，其特征在于，所述逆變器包括全橋逆變器。

4.一種利用能夠控制輸出電流的供電裝置的供電方法，用于在等離子體發生器內維持等離子體，其特征在于，包括：

形成開關電源、等離子體源、共振網絡的步驟，所述開關電源包括整流器、逆變器及移相器，所述等離子體源用于在等離子體發生器內部生成等離子體，所述共振網絡包括共振電感器及共振電容器，所述共振電感器連接在所述開關電源與所述等離子體源之間，與初級繞組串聯，所述共振電容器與所述等離子體源并聯且與所述共振電感器串聯；

通過控制部確認在所述共振網絡中能夠輸出最大輸出電流的所述共振電感器和所述共振電容器值的步驟；

通過所述控制部確認在所述共振網絡中能夠輸出最小輸出電力的最大相移角度的步驟；

在所述最大相移角度中確認能夠進行零電壓開關的所述逆變器的電壓、電流的相位的步驟；以及

利用所述控制部來控制所述逆變器的輸出電流的步驟。

5.根據權利要求4所述的利用能夠控制輸出電流的供電裝置的供電方法，其特征在于，所述共振網絡包括一端與所述共振電容器串聯且另一端接地連接的無源器件。

6.根據權利要求5所述的利用能夠控制輸出電流的供電裝置的供電方法，其特征在于，所述無源器件包括電阻、電感器、電容器、轉換器或繼電器中的一種以上。