[發(fā)明專利]目標處理單元

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710637657.2
• 申請日: 2014-09-08
• 公開（公告）號: CN107272352B
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設計）人: J.J.科寧;D.J.范登伯根
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01J37/10;H01J37/20;H01J37/317
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種目標處理單元(10)，包括：

-用于容納待處理目標的真空腔室(30)，所述真空腔室包括被布置成用于在所述真空腔室內提供真空環(huán)境的真空殼體(39)；

-用于容納電子裝備(22)的機柜(12)；

-在所述真空腔室(30)內的投影列(46)，用于生成、成型射束和使射束指向目標(31)；

-在所述真空腔室(30)內的另外的設備；

-管線(26、37、60)，用于將投影列連接至所述電子裝備(22)；

-與所述管線(26、37、60)不同的另外的管線(110)，用于將所述另外的設備連接至所述電子裝備(22)；

-沿著所述機柜的外側面的第一電纜導向殼體(120)和沿著所述真空腔室的外側面的第二電纜導向殼體(140)，用于將所述另外的管線從所述電子裝備引導到所述另外的設備；

接入端口(36)，被布置成位于所述真空殼體的外部；以及

連接器板(48)，被布置成位于所述真空殼體的內部，

其中所述管線(26、37、60)包括延伸穿過所述真空腔室的上側的一個或多個中間管線(37)，所述管線被引導到所述接入端口(36)并且被引導到所述連接器板(48)，并且所述接入端口(36)和所述連接器板(48)被布置成經(jīng)由所述一個或多個中間管線(37)振動/運動解耦合連接，并且

其中所述另外的管線(110)被引導到所述真空腔室的下側并且延伸穿過所述真空腔室的下側到所述真空腔室中。

2.如權利要求1所述的目標處理單元，其中所述真空腔室內的所述另外的設備包括用于支撐所述目標的定位系統(tǒng)(114)，其中所述定位系統(tǒng)相對于所述投影列可移動地布置，并且其中所述定位系統(tǒng)和所述投影列在空間上占據(jù)所述真空腔室的不同部分。

3.如權利要求1所述的目標處理單元，其中所述真空殼體(39)限定第一壁、和與所述第一壁相對的第二壁，其中所述第一壁和第二壁共同界定前腔室側，所述前腔室側帶有用于將所述投影列(46)插入到所述真空腔室中和從其中移除的開口，其中所述第一壁形成所述真空腔室的所述上側，且其中所述第二壁形成所述真空腔室的所述下側。

4.如權利要求1所述的目標處理單元，其中所述第二電纜導向殼體(140)沿著所述真空腔室的側壁(144)設置，從所述真空腔室的上側延伸到下側，用于引導所述另外的管線(110)。

5.如權利要求1所述的目標處理單元，其中所述接入端口(36)被配置用于可拆卸地連接所述電子裝備(22)。

6.如權利要求5所述的目標處理單元，其中所述連接器板(48)被配置用于可拆卸地連接所述投影列(46)的一個或多個部分(50、90、96、100)。

7.如權利要求1所述的目標處理單元，其中所述一個或多個中間管線(37)被配置成在操作過程中提供在所述接入端口(36)與所述連接器板(48)之間的電和/或光信號連接，并且其中所述中間管線設置有彎曲的有彈性的中間管線部分(37a,37b)，該中間管線部分配置成提供在所述接入端口(36)與所述連接器板(48)之間的振動/運動解耦合。