[發明專利]一種自由曲面氣體池及其加工方法

在審

• 申請號: 201710636235.3
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN107402185A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 張效棟;王穎墨;房豐洲;李澤驍
• 申請（專利權）人: 三代光學科技（天津）有限公司
• 主分類號: G01N21/03
• 分類號: G01N21/03;G02B27/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：通過自由曲面鏡代替初始結構氣體池中的多個鏡面，從而在保留初始結構有效光程大、結構緊湊等優點且不改變其工作效果的同時，削減鏡面數量，降低裝配難度與成本。

2.根據權利要求1所述一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：初始結構包括但不限于各類氣體池(如Chernin型氣體池)以及其他具有多面反射鏡的結構。

3.根據權利要求1所述一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：根據初始結構多個鏡面的面形以及分布特征，選擇適合的擬合方法將多個鏡面擬合為自由曲面鏡。

4.根據權利要求2所述一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：擬合方法包括但不限于XY多項式擬合、Zernike多項式擬合、樣條曲面擬合、徑向基函數擬合等。

5.根據權利要求1所述一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：設計所得的自由曲面鏡的加工方式包括但不限于超精密車削，超精密磨削等。

6.根據權利要求1所述一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：基于四物鏡Chernin型氣體池可通過一組2D Gaussian RBF將其初始結構中的四面物鏡擬合為一面自由曲面鏡，并由超精密車床進行加工，形成自由曲面氣體池。

7.根據權利要求6所述一種基于自由曲面的氣體池及其加工方法，其特征是：四物鏡Chernin型氣體池初始結構中的兩塊拋物鏡(主場鏡與輔場鏡)與一面自由曲面鏡分居氣體池兩側，兩塊拋物鏡被固定在基底，自由曲面鏡被固定在具有傾斜與旋轉兩個旋轉自由度的光具座中，光線由輔場鏡上方射入與射出。