[發明專利]一種光纖F-P濾波器及其制備方法

有效

• 申請號: 201710633562.3
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN107247310B
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 劉穎剛;劉鑫;梁星;馬成舉;韓黨衛;楊武海
• 申請（專利權）人: 西安石油大學
• 主分類號: G02B6/293
• 分類號: G02B6/293
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.一種光纖F-P濾波器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)剝除光纖的涂覆層得到纖芯，并用酒精清洗；

2)將纖芯固定在載玻片上，并將載玻片放置在三維精密微動平臺上，啟動準分子激光器，并調節三維精密微動平臺和光路系統使激光光斑聚焦在纖芯的中軸線位置；

3)設置準分子激光器的脈沖次數為300～1000次，操作準分子激光器在纖芯上打第一個微孔后，三維精密微動平臺帶動纖芯沿纖芯的軸向移動，準分子激光器在纖芯上等間距或不等間距進行激光打孔，得到至少2個微孔，有2個微孔的纖芯構成單個F-P濾波器，有2個以上微孔的纖芯構成級聯型F-P濾波器；

所述微孔為圓形孔、矩形孔或三角形孔；

所述微孔的深度為光纖纖芯直徑的1/2，矩形孔的尺寸為(20μm～70μm)×(60μm～120μm)，圓形孔的直徑為10μm～120μm，三角形孔的邊長為10μm～120μm；

相鄰微孔的間距為0.5～4mm。

2.根據權利要求1所述的一種光纖F-P濾波器的制備方法，其特征在于，所述步驟2)中設置準分子激光器的輸出波長為193nm、脈沖能量為10～30mJ、頻率為300Hz。

3.根據權利要求1所述的一種光纖F-P濾波器的制備方法，其特征在于，所述三維精密微動平臺上設有CCD攝像頭，CCD攝像頭獲取加工過程中纖芯的影像信息，并發送給控制器，控制器根據纖芯的影像信息控制三維精密微動平臺和準分子激光器。

4.根據權利要求1所述的一種光纖F-P濾波器的制備方法，其特征在于，所述準分子激光器的激光輸出端設有光路系統，光路系統包括依次設置的凹透鏡、凸透鏡、反射鏡和聚焦透鏡，準分子激光器輸出的激光依次經過凹透鏡和凸透鏡擴束整形后形成平行光束，再經過傾斜45°放置的反射鏡使光路旋轉90°，最后經過聚焦透鏡聚焦，使激光束的焦點落在三維精密微動平臺上的纖芯的中軸線位置。

5.根據權利要求4所述的一種光纖F-P濾波器的制備方法，其特征在于，所述光路系統的聚焦透鏡采用沖氮氣的管道密封。

6.根據權利要求1所述的一種光纖F-P濾波器的制備方法，其特征在于，所述準分子激光器為氟化氬準分子激光器。

7.一種采用權利要求1-6任一項光纖F-P濾波器的制備方法制備出的光纖F-P濾波器，其特征在于，包括光纖纖芯，光纖纖芯上沿軸向等間距或不等間距設有至少2個微孔。