[發明專利]一種超精密氣浮定位平臺

在審

• 申請號: 201710632556.6
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN107214530A
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 劉震;尹自強;劉強;劉浩;張霞峰;郭亞文;林劍;周富林
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B23Q1/38
• 分類號: B23Q1/38
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 羅滿

1.一種超精密氣浮定位平臺，其特征在于，包括水平底座、設在所述底座上的滑臺，用于支撐所述滑臺的立柱，用于驅動所述滑臺的直線電機，以及固定在所述底座一側且沿所述滑臺移動方向延伸的豎直側板，所述直線電機的定子固定在所述底座上，所述直線電機的動子與所述滑臺的底面固定連接，所述立柱固定在所述滑臺的底面，且所述立柱底部安裝有用于產生正壓以使所述滑臺垂直懸浮的正壓空氣軸承，所述滑臺靠近所述側板的一側固定有用于保證其沿所述側板延伸方向移動的正負壓空氣軸承。

2.根據權利要求1所述的超精密氣浮定位平臺，其特征在于，所述側板上安裝有用于測量所述滑臺位移的光柵尺，所述光柵尺上設有光柵讀數頭。

3.根據權利要求2所述的超精密氣浮定位平臺，其特征在于，所述底座上還安裝有用于限制所述滑臺位移的限位光電開關。

4.根據權利要求1至3任意一項所述的超精密氣浮定位平臺，其特征在于，包括四個所述立柱，四個所述立柱分別設在所述滑臺底面的四角，其中兩個所述立柱靠近所述側板，且所述正負壓空氣軸承固定在上述兩個所述立柱靠近所述側板的一側。

5.根據權利要求4所述的超精密氣浮定位平臺，其特征在于，所述底座為大理石底座，所述側板為大理石側板。

6.根據權利要求5所述的超精密氣浮定位平臺，其特征在于，所述底座與所述側板螺栓連接，所述滑臺與所述立柱以及所述直線電機的動子均螺栓連接。