[發明專利]顯示基板及其制造方法和顯示裝置

在審

• 申請號: 201710631769.7
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN107422513A
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 楊昕
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G02F1/1362;H01L27/12
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 汪源,陳源

1.一種顯示基板，其特征在于，包括襯底基板和位于襯底基板之上的緩沖層，所述緩沖層包括第一子緩沖層和第二子緩沖層，所述第一子緩沖層位于所述襯底基板之上，所述第二子緩沖層上設置有薄膜晶體管；

所述緩沖層還包括位于所述第一子緩沖層和所述第二子緩沖層之間的至少一層第三子緩沖層和/或至少一層第四子緩沖層，一層所述第三子緩沖層與所述第一子緩沖層相鄰層設置，一層所述第四子緩沖層與所述第二子緩沖層相鄰層設置，所述第三子緩沖層的導熱系數小于所述第一子緩沖層的導熱系數，所述第四子緩沖層的導熱系數小于所述第二子緩沖層的導熱系數。

2.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第三子緩沖層的致密度小于所述第一子緩沖層的致密度。

3.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第四子緩沖層的致密度小于所述第二子緩沖層的致密度。

4.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第三子緩沖層的材料和所述第一子緩沖層的材料相同。

5.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第四子緩沖層的材料和所述第二子緩沖層的材料相同。

6.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述緩沖層包括第一子緩沖層、第二子緩沖層和位于所述第一子緩沖層和所述第二子緩沖層之間的一層第三子緩沖層和一層第四子緩沖層。

7.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述緩沖層的厚度范圍為至

8.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求1至7任一所述的顯示基板。

9.一種顯示基板的制造方法，其特征在于，包括：

在襯底基板之上形成緩沖層，所述緩沖層包括第一子緩沖層、第二子緩沖層和位于所述第一子緩沖層和所述第二子緩沖層之間的至少一層第三子緩沖層和/或至少一層第四子緩沖層，一層所述第三子緩沖層與所述第一子緩沖層相鄰層設置，一層所述第四子緩沖層與所述第二子緩沖層相鄰層設置，所述第一子緩沖層位于所述襯底基板之上，所述第三子緩沖層的導熱系數小于所述第一子緩沖層的導熱系數，所述第四子緩沖層的導熱系數小于所述第二子緩沖層的導熱系數；

在所述第二子緩沖層上形成薄膜晶體管。

10.根據權利要求9所述的顯示基板的制造方法，其特征在于，所述緩沖層包括第一子緩沖層、第二子緩沖層和位于所述第一子緩沖層和所述第二子緩沖層之間的一層第三子緩沖層和一層第四子緩沖層；所述在襯底基板之上形成緩沖層包括：

在所述襯底基板之上沉積所述第一子緩沖層；

在所述第一子緩沖層之上沉積所述第三子緩沖層；

在所述第三子緩沖層之上沉積所述第四子緩沖層；

在所述第四子緩沖層之上沉積所述第二子緩沖層。