[發明專利]測量設備

有效

• 申請號: 201710626866.7
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN107664512B
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 弗洛里安·基爾薩默爾;漢斯-京特·克萊赫;米夏埃爾·路德維希;金特·馬爾考克斯
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: G01D5/243
• 分類號: G01D5/243
• 代理公司: 11240 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余剛;李慧<國際申請>=<國際公布>=<

1.一種用于非電參量的測量設備，

具有測量單元(1)，所述測量單元設計用于借助具有頻率(f)的交流電流間接地使所述非電參量(2)轉化為電的測量信號(3)，其中，電的所述測量信號(3)包含取決于所述非電參量(2)的具有雙倍頻率(2f)的有效信號分量(3(2f))和取決于所述交流電流(I(f))的具有所述頻率(f)的干擾信號分量(3(f))，

具有信號預處理裝置(5)，用于將所述測量信號(3)預處理和數字化成數字信號(9)，并且

具有信號處理裝置(10)，用于借助信號處理軟件將所述數字信號(9)處理成測量值(11)，其中，所述信號處理軟件設計用于，

所述數字信號(9)通過與參考信號(14)相乘(13)在所述雙倍頻率(2f)時被相位敏感地探測，并且所述數字信號通過隨后的低通濾波(15)被處理為與所述非電參量(2)成比例的所述測量值(11)，并且

所述數字信號(9)通過與另外的參考信號(19)相乘(18)在一倍的頻率(f)時被相位敏感地探測，并且所述數字信號通過隨后的所述低通濾波(15)被處理為干擾信號值(20)，

其特征在于，

所述信號處理裝置(10)具有歸一化級(22)，所述歸一化級設計用于通過形成所述測量值(11)與所述干擾信號值(20)的平方之商使得所述測量值歸一化并且作為歸一化的測量值(11’)給出。

2.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，所述信號處理軟件交替地處理在所述雙倍頻率(2f)時探測的數字信號(9)和在一倍的頻率(f)時探測的數字信號(9)。

3.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，所述信號處理軟件以雙重實施的方式存在并且并行地處理在所述雙倍頻率(2f)時探測的數字信號(9)和在一倍的頻率(f)時探測的數字信號(9)。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的測量設備，其特征在于，所述測量單元(1)包括根據順磁交變壓力方法工作的氣體分析器(30)，所述氣體分析器具有生成帶有交變的通量強度的磁場的電磁鐵(33)，所述電磁鐵利用所述交流電流(I(f))進行驅控。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的測量設備，其特征在于，所述測量單元(1、40、50、60)包括利用所述交流電流(I(f))驅控的加熱電阻(43)并且設計用于，使所述非電參量根據熱物理學原理轉化為電的所述測量信號(3)。

6.根據權利要求5所述的測量設備，其特征在于，所述測量單元(1)是能導熱氣體分析器(40)。

7.根據權利要求5所述的測量設備，其特征在于，所述測量單元(1)是流量傳感器。

8.根據權利要求7所述的測量設備，其特征在于，所述測量單元(1)是測熱的流量傳感器(40、50)。

9.根據權利要求1至3中任一項所述的測量設備，其特征在于，所述測量單元(1)包括根據光學原理工作的、具有輻射源的氣體分析器，所述氣體分析器利用所述交流電流(I(f))進行驅控。

10.根據權利要求1至3中任一項所述的測量設備，其特征在于，所述信號處理裝置(10)具有用于通過將所述干擾信號值(20)與期望值相比較來監控所述信號預處理裝置(5)和所述信號處理裝置(10)的部件。