[發明專利]用于低溫透射測溫的探測器

有效

• 申請號: 201710625449.0
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN108955889B
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 塞繆爾·C·豪厄爾斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種透射測溫探測器，包括：

探測器歧管，所述探測器歧管用以探測來自腔室主體中的處理區附近的輻射；

輻射探測器，所述輻射探測器光耦合至所述探測器歧管，其中所述輻射探測器被配置成測量作為波長的函數的在多個光譜帶中的透射輻射的功率光譜，以用于分析在所述多個光譜帶中的所探測的輻射以確定基板的推斷溫度；以及

光譜多陷波濾波器，其中所述光譜多陷波濾波器傳遞所探測的所述輻射中的波長彼此分離的多個光譜帶并過濾其他波長的輻射。

2.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述探測器歧管在所述腔室主體中包括多個高溫計探頭。

3.根據權利要求2所述的透射測溫探測器，其中所述探測器歧管包括多個光學開關，并且其中所述多個高溫計探頭的子集光耦合至每個光學開關。

4.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述輻射探測器附接至所述腔室主體。

5.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述光譜多陷波濾波器在兩個光譜帶中傳輸輻射，每個光譜帶具有10nm至15nm的帶寬。

6.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述輻射探測器包括：

衍射光柵，

柱面透鏡，以及

探測器陣列。

7.根據權利要求6所述的透射測溫探測器，其中所述探測器陣列包括砷化銦鎵線性探測器陣列。

8.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述輻射探測器包括掃描光探測器。

9.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述輻射探測器包括光纖光譜儀。

10.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述探測器歧管具有鄰近所述處理區并跨所述處理區分配的多個輻射入口。

11.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，進一步包括光耦合至所述探測器歧管的多個輻射探測器。

12.根據權利要求11所述的透射測溫探測器，其中所述光譜多陷波濾波器在所述處理區與所述探測器歧管之間。

13.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述探測器歧管包括分光器和光組合器的至少一個。

14.根據權利要求1所述的透射測溫探測器，其中所述探測器歧管包括多個高溫計探頭和用于每個高溫計探頭的光譜儀。

15.一種溫度測量方法，包括：

探測來自在腔室主體中的基板的發射表面的透射輻射；

通過光譜多陷波濾波器將所探測的輻射的多個光譜帶傳遞至光探測器，其中所述多個光譜帶的波長彼此分離且所述光譜多陷波濾波器過濾所探測的輻射中的其他波長的輻射；以及

分析在所述多個光譜帶中的所探測的輻射以確定所述基板的推斷溫度，其中分析所探測的輻射的步驟包括測量作為波長的函數的在所述多個光譜帶中的所探測的輻射的功率光譜。

16.根據權利要求15所述的方法，其中至少一個光譜儀被用于測量所述功率光譜。

17.根據權利要求15所述的方法，其中所述光譜多陷波濾波器傳遞兩個光譜帶中的輻射，并且每個光譜帶具有10nm至15nm的帶寬。

18.根據權利要求15所述的方法，其中所述基板的所述發射表面由多個區來識別，所述方法進一步包括確定所述基板的所述多個區的每個的推斷溫度。