[發明專利]物料供給裝置與晶體生長系統在審
| 申請號: | 201710625399.6 | 申請日: | 2017-07-27 |
| 公開(公告)號: | CN109306516A | 公開(公告)日: | 2019-02-05 |
| 發明(設計)人: | 李僑;王正遠;張永輝;付澤華;李靖 | 申請(專利權)人: | 隆基綠能科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/02 | 分類號: | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司: | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人: | 鐘歡 |
| 地址: | 710100 陜西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 物料供給裝置 坩堝 投料 爐體內部 喂料通路 加料 晶體生長系統 單晶硅棒 供給物料 喂料機構 冷卻過程 爐體外部 生產效率 盛裝物料 加料量 爐體 并行 外部 | ||
1.物料供給裝置,其特征在于,用于向爐體(4)內部的坩堝(5)中供給物料,所述物料供給裝置包括喂料機構(1)和至少一個投料通路(2),所述喂料機構(1)具有將物料從爐體(4)外部輸入爐體(4)內部的喂料通路(101),所述至少一個投料通路(2)位于所述爐體(4)內部且與所述坩堝(5)相對,所述喂料通路(101)對接所述至少一個投料通路(2),物料經所述喂料通路(101)導入至少一個投料通路(2)并由所述至少一個投料通路(2)輸入所述坩堝(5)中。
2.根據權利要求1所述的物料供給裝置,其特征在于,所述爐體(4)上具有開口(41),所述喂料機構(1)對接所述開口(41),所述喂料通路(101)可相對于所述至少一個投料通路(2)延伸或撤回,所述喂料通路(101)在延伸位置時穿過所述開口(41)并與所述投料通路(2)相連通。
3.根據權利要求2所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料機構(1)還包括喂料容納部(102),所述喂料容納部(102)設置于所述爐體(4)外部,所述喂料通路(101)在撤回位置時容納于所述喂料容納部(102)。
4.根據權利要求3所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料容納部(102)上開設有通氣口。
5.根據權利要求3所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料機構(1)還包括長度可以伸縮變化的喂料伸縮部(105),所述爐體(4)的開口(41)處具有隔離閥(43),所述喂料伸縮部(105)密封連接于所述喂料容納部(102)與所述隔離閥(43)之間。
6.根據權利要求5所述的物料供給裝置,其特征在于,所述隔離閥(43)連通用于冷卻所述隔離閥(43)的水循環系統。
7.根據權利要求3至6中任一項所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料機構(1)還包括機械連接于所述喂料通路(101)的喂料驅動器(104),所述喂料驅動器(104)設置于所述喂料容納部(102)的一側,用于帶動所述喂料通路(101)延伸或撤回。
8.根據權利要求7所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料通路(101)的上游端設置用于接收物料的下料漏斗(1015),所述喂料通路(101)的外部具有喂料固定套(1013),所述喂料固定套(1013)通過喂料滑塊(1041)連接所述喂料驅動器(104)。
9.根據權利要求8所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料通路(101)側壁外部與喂料固定套(1013)之間的至少部分區域內填充緩沖層(1014)。
10.根據權利要求1或2所述的物料供給裝置,其特征在于,所述投料通路(2)包括相對的投料入口和投料出口,所述投料出口靠近所述坩堝(5),所述投料入口處具有投料漏斗(203),所述喂料通路(101)通過所述投料漏斗(203)與所述投料通路(2)對接。
11.根據權利要求10所述的物料供給裝置,其特征在于,所述投料漏斗(203)的基部設置投料固定塊(204),所述投料固定塊(204)將所述投料通路(2)保持在爐體(4)內部且使得所述投料通路(2)與所述坩堝(5)相對。
12.根據權利要求3所述的物料供給裝置,其特征在于,還包括導料機構(3),所述導料機構(3)將所述物料傳送至所述喂料機構(1)。
13.根據權利要求12所述的物料供給裝置,其特征在于,所述喂料機構(1)還包括喂料對接部(103),所述喂料對接部(103)設置于所述喂料容納部(102)的側部,所述喂料容納部(102)連通所述喂料對接部(103),所述喂料對接部(103)與所述導料機構(3)對接。
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