[發明專利]預防裂紋擴展的致動器、制備方法及終端

在審

• 申請號: 201710623615.3
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN107240639A
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發明（設計）人: 王曉峰;丁耀民
• 申請（專利權）人: 蘇州攀特電陶科技股份有限公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/277
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 余劍琴

1.一種預防裂紋擴展的致動器，包括多個層疊設置的壓電單元，所述壓電單元包括依次層疊設置的第一基體層(110)、第一電極層(120)、第二基體層(130)和第二電極層(140)，其特征在于：

所述第一基體層(110)與所述第二基體層(130)之間形成有與所述第一電極層(120)位于同一平面的第一空隙；所述第二基體層(130)與所述第二電極層(140)之間形成有與所述第二電極層(140)位于同一平面的第二空隙；所述第一空隙填充有第一填充層(101)，所述第二空隙填充有第二填充層(102)，其中，所述第一填充層(101)和所述第二填充層(102)內部具有微孔結構。

2.根據權利要求1所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

所述致動器還包括第一電極(400)和第二電極(500)，所述第一電極(400)與所有的壓電單元的第一電極層(120)連接，所述第二電極(500)與所有的壓電單元的第二電極層(140)連接。

3.根據權利要求2所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

所述第一電極(400)與所有的壓電單元的第一電極層(120)形成總分結構；所述第二電極(500)與所有的壓電單元的第二電極層(140)形成總分結構。

4.根據權利要求3所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

所述第一電極(400)與所述第二電極(500)的極性相反。

5.根據權利要求1所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

所述第一基體層(110)和所述第二基體層(130)均由壓電陶瓷材料制成。

6.根據權利要求1所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

所述第一填充層(101)和所述第二填充層(102)均由多孔無機非金屬材料制成。

7.根據權利要求1所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

制備所述第一填充層(101)和所述第二填充層(102)的材料包括造孔劑、無機非金屬材料、膠黏劑及溶劑等。

8.根據權利要求1所述的預防裂紋擴展的致動器，其特征在于：

制備所述第一填充層(101)和所述第二填充層(102)的無機非金屬材料包括鋯鈦酸鉛、鋯鈦酸鉛改性材料、氧化鋯或氧化鋁中的任意一種。

9.一種如權利要求1-8所述的預防裂紋擴展的致動器的制備方法，其特征在于，包括：

第一基體層(110)和第二基體層(130)之間填充第一電極層(120)，并且在所述壓電單元的第一端，所述第一基體層(110)、所述第二基體層(130)以及所述第一電極層(120)的端面齊平，在所述壓電單元的第二端，所述第一基體層(110)與所述第二基體層(130)之間形成有與所述第一電極層(120)位于同一平面的第一空隙；

第二基體層(130)和相鄰的壓電單元的第一基體層(110)之間填充第二電極層(140)，并且，在所述壓電單元的第二端，所述第二基體層(130)、所述第二電極層(140)以及相鄰的壓電單元的所述第一基體層(110)的端面齊平，在所述壓電單元的第一端，第二基體層(130)與所述第二電極層(140)之間形成有與所述第二電極層(140)位于同一平面的第二空隙；

第一空隙填充第一填充層(101)；

第二空隙填充第二填充層(102)；

將多個所述壓電單元共燒成型。

10.一種終端，包括如權利要求1-9任一項所述的預防裂紋擴展的致動器。