[發(fā)明專利]一種烘干裝置及制絨機在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710618388.5 | 申請日： | 2017-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN107356082A | 公開（公告）日： | 2017-11-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 雷杰;曾志貴;張紅 | 申請（專利權(quán)）人： | 昊誠光電（太倉）有限公司 |
| 主分類號： | F26B15/12 | 分類號： | F26B15/12;F26B21/00;F26B21/12;H01L31/18;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11278 | 代理人： | 張濤 |
| 地址： | 215400 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 烘干 裝置 制絨機 | ||
1.一種烘干裝置，包括風機、加熱裝置、傳送輪、風刀和烘干室，其特征在于，所述風機通過管路與所述加熱裝置連接，將所述加熱裝置的出口與所述風刀連接，所述風刀設置在所述烘干室內(nèi)，所述烘干室的側(cè)面對稱設置有用于硅片的入口和出口的間隙，在間隙的上面和下面分別設置所述風刀，在間隙的下方設置有所述傳送輪，在所述傳送輪的上方再設置所述傳送輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種烘干裝置，其特征在于，還包括過濾裝置，所述過濾裝置設置在所述風機1的入口處。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種烘干裝置，其特征在于，在所述加熱裝置與風刀之間加裝過濾片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種烘干裝置，其特征在于，所述烘干室上設置有泄氣口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種烘干裝置，其特征在于，泄氣口處設置有過濾片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種烘干裝置，其特征在于，泄氣口處設置有止回閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種烘干裝置，其特征在于，所述間隙厚度大于硅片厚度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種烘干裝置，其特征在于，還包括濕度傳感器和PLC，所述濕度傳感器設置在所述烘干室內(nèi)，所述PLC分別與所述濕度傳感器和所述風機連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的一種烘干裝置，其特征在于，所述過濾片為HEPA。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制絨機，其特征在于，包括權(quán)利要求1-8任一所述的烘干裝置。
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