[發(fā)明專利]一種Mueller矩陣型橢偏儀橢偏參數(shù)測量的優(yōu)化方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710618190.7
• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN107490547B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡浩豐;劉鐵根;李校博
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 李素蘭

1.一種Mueller矩陣型橢偏儀橢偏參數(shù)測量的優(yōu)化方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟(1)、根據(jù)光強(qiáng)測量的方差、偏振態(tài)生成器和偏振態(tài)分析器的儀器矩陣A、B，推導(dǎo)出待測樣本Mueller矩陣16個元素的測量方差，調(diào)整Mueller矩陣中16個元素的估算方差即優(yōu)化Mueller矩陣非零元素對應(yīng)的方差，得到僅與橢偏參數(shù)估算直接相關(guān)的Mueller矩陣元素方差和的解析表達(dá)式：

其中，表示Mueller矩陣中與橢偏參數(shù)估算直接相關(guān)元素的估算方差，且表示為：

其中，σ²表示高斯噪聲下的噪聲方差；

步驟(2)、在偏振態(tài)生成器和偏振態(tài)分析器的儀器矩陣相同的假設(shè)下，利用全局優(yōu)化算法搜索出最優(yōu)化儀器矩陣，即搜索最優(yōu)化的儀器矩陣A，使得方差V₁最小；得到Mueller矩陣中與橢偏參數(shù)估算直接相關(guān)的四個元素m₁₁,m₁₂,m₃₃,m₃₄對應(yīng)的方差和的最小值為16.5，對應(yīng)的儀器矩陣為：

步驟(3)、根據(jù)步驟(2)優(yōu)化計算得到的最優(yōu)化儀器矩陣，進(jìn)行光強(qiáng)采集，并計算得到對應(yīng)Mueller矩陣各個元素的測量方差：