[發(fā)明專利]一種采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行硅片涂源工藝

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710615682.0
• 申請(qǐng)日: 2017-07-26
• 公開（公告）號(hào): CN109308994A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李亞哲;王彥君;孫晨光;徐長坡;陳澄;武衛(wèi);梁效峰;黃志煥;楊玉聰;李麗娟;鐘瑜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/22
• 分類號(hào): H01L21/22;H01L21/225
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本發(fā)明提供一種采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行硅片涂源工藝，包括以下步驟：硅片雙面減薄：使用腐蝕液對(duì)硅片進(jìn)行雙面腐蝕，去除表面損傷層；擴(kuò)散前處理：對(duì)減薄后的硅片依次進(jìn)行堿處理、溢水清洗、酸清洗、溢水清洗、甩干；印刷擴(kuò)散源：采用絲網(wǎng)印刷工藝對(duì)處理后的硅片一面印刷磷擴(kuò)散源，另一面印刷硼擴(kuò)散源或硼鋁擴(kuò)散源；疊片裝舟：將硅片硼源面或硼鋁源面與硼源面或硼鋁源面相對(duì)，將磷源面與磷源面相對(duì)進(jìn)行疊片，疊片后放入碳化硅舟中，在前后位置放置擋片。本發(fā)明的有益效果是使得在硅片上涂覆擴(kuò)散源的工藝更加簡(jiǎn)單，能夠?qū)崿F(xiàn)硅片擴(kuò)散源涂覆的自動(dòng)化，節(jié)省勞動(dòng)力，提高了擴(kuò)散源涂覆的工作效率，且磷源和硼源在硅片上的涂覆一致性好，安全環(huán)保。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于硅片制作領(lǐng)域，尤其是涉及一種采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行硅片涂源工藝。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體表面鈍化的要求越來越高，作為鈍化材料，應(yīng)具備良好的電氣性能、可靠性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、可操作性以及經(jīng)濟(jì)性。根據(jù)上述要求，半導(dǎo)體鈍化專用玻璃作為一種較為理想的半導(dǎo)體鈍化材料在半導(dǎo)體行業(yè)中開始應(yīng)用。利用半導(dǎo)體鈍化專用玻璃制作的芯片稱為玻璃鈍化芯片(Glass passivation process Chip)，即GPP芯片。

目前，行業(yè)內(nèi)硅片的制作大多會(huì)用到擴(kuò)散工藝形成PN結(jié)，目前業(yè)內(nèi)常用的硅片擴(kuò)散源的涂覆一般采用旋轉(zhuǎn)涂覆的方法，采用旋轉(zhuǎn)涂覆擴(kuò)散源工藝復(fù)雜，且擴(kuò)散源在硅片表面涂覆不均勻，產(chǎn)品一致性差，勞動(dòng)成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的問題是提供一種采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行硅片涂源工藝，使得在硅片上涂覆的擴(kuò)散源一致性好，且簡(jiǎn)化了硅片涂源工藝步驟，提高了硅片擴(kuò)散源涂覆的工作效率。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)進(jìn)行硅片涂源工藝，包括以下步驟：

1)印刷擴(kuò)散源：采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)對(duì)擴(kuò)散前處理后的硅片一面印刷磷擴(kuò)散源，另一面印刷硼擴(kuò)散源或硼鋁擴(kuò)散源。

進(jìn)一步的，步驟1)包括以下步驟：

A.印刷磷擴(kuò)散源：將磷擴(kuò)散源噴涂在網(wǎng)板上，擴(kuò)散前處理后的硅片置于網(wǎng)板下方，用刮刀從網(wǎng)板上方以一定角度施加壓力，將磷擴(kuò)散源印刷至硅片表面；

B.將印刷完磷擴(kuò)散源的硅片置于烘板上，對(duì)硅片印有磷擴(kuò)散源的一面進(jìn)行烘烤；

C.按照步驟B、步驟C的工藝將液態(tài)硼鋁擴(kuò)散源或者液態(tài)硼擴(kuò)散源印刷至硅片的另一面上并進(jìn)行烘烤；

D.將所述硅片兩面噴灑上Al2O3粉末或硅粉。

進(jìn)一步的，步驟A中所述的刮刀的角度為45°-75°。

進(jìn)一步的，在印刷擴(kuò)散源之前對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散前處理。

進(jìn)一步的，擴(kuò)散前處理包括依次進(jìn)行堿處理、溢水清洗、酸清洗、溢水清洗和甩干。

進(jìn)一步的，在對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散前處理之前對(duì)硅片進(jìn)行減薄處理。

進(jìn)一步的，減薄處理具體包括以下步驟：

E.將硅片放置于腐蝕液中進(jìn)行腐蝕；

F.腐蝕結(jié)束后，將硅片進(jìn)行水清洗；

G.測(cè)量所述硅片減除量；

H.測(cè)量后對(duì)所述硅片進(jìn)行水清洗并甩干。

進(jìn)一步的，腐蝕液為按照一定的比例混合的硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水，溫度為0-15℃。

進(jìn)一步的，腐蝕液的混合比例為10-20:5-10:1-10:1-10。

進(jìn)一步的，印刷擴(kuò)散源后還進(jìn)行疊片裝舟，具體步驟為：將硅片硼源面或硼鋁源面與硼源面或硼鋁源面相對(duì)，將磷源面與磷源面相對(duì)進(jìn)行疊片裝舟。