[發(fā)明專利]一種具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管

在審

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• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN107464866A
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葛道晗;黃修康;張立強(qiáng);張金花;盧樂;程廣貴;丁建寧
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇大學(xué)
• 主分類號: H01L33/06
• 分類號: H01L33/06;H01L33/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，包括至下而上依次連接的藍(lán)寶石襯底(1)、緩沖層(2)、N型半導(dǎo)體層(3)、多量子阱層(4)和P型半導(dǎo)體層(5)；

所述P型半導(dǎo)體層(5)上設(shè)有正方晶格的半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)陣列；所述半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)陣列包括若干大半球(6)和小半球(7)，所述大半球(6)的直徑大于小半球(7)的直徑；

所述大半球(6)以晶格常數(shù)為a的正方排列，所述小半球(7)也是以晶格常數(shù)為a的正方排列均勻布置在大半球(6)的排列中，且所述相鄰的大半球(6)和小半球(7)間隔分布組成三角形排列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，在三角形排列中，兩個相鄰的大半球(6)之間的邊為a，大半球(6)與小半球(7)之間的邊均為

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)直徑為1200±50nm，所述小半球(7)直徑為360±20nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)直徑為1200nm，所述小半球(7)直徑為360nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述正方晶格常數(shù)a為1500士50nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述正方晶格常數(shù)為1500nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)和小半球(7)的材質(zhì)為半導(dǎo)體材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)和小半球(7)的材質(zhì)為氧化鋅材料、氮化鎵材料或碳化硅材料中的任意一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)和小半球(7)的材質(zhì)為氮化鎵材料。