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[發(fā)明專利]一種具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201710614758.8 申請日: 2017-07-26
公開(公告)號: CN107464866A 公開(公告)日: 2017-12-12
發(fā)明(設(shè)計)人: 葛道晗;黃修康;張立強(qiáng);張金花;盧樂;程廣貴;丁建寧 申請(專利權(quán))人: 江蘇大學(xué)
主分類號: H01L33/06 分類號: H01L33/06;H01L33/16
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 212013 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 具有 半球 光子 晶體 周期 結(jié)構(gòu) 高出光 效率 二極管
【權(quán)利要求書】:

1.一種具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,包括至下而上依次連接的藍(lán)寶石襯底(1)、緩沖層(2)、N型半導(dǎo)體層(3)、多量子阱層(4)和P型半導(dǎo)體層(5);

所述P型半導(dǎo)體層(5)上設(shè)有正方晶格的半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)陣列;所述半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)陣列包括若干大半球(6)和小半球(7),所述大半球(6)的直徑大于小半球(7)的直徑;

所述大半球(6)以晶格常數(shù)為a的正方排列,所述小半球(7)也是以晶格常數(shù)為a的正方排列均勻布置在大半球(6)的排列中,且所述相鄰的大半球(6)和小半球(7)間隔分布組成三角形排列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,在三角形排列中,兩個相鄰的大半球(6)之間的邊為a,大半球(6)與小半球(7)之間的邊均為

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述大半球(6)直徑為1200±50nm,所述小半球(7)直徑為360±20nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述大半球(6)直徑為1200nm,所述小半球(7)直徑為360nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述正方晶格常數(shù)a為1500士50nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述正方晶格常數(shù)為1500nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述大半球(6)和小半球(7)的材質(zhì)為半導(dǎo)體材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述大半球(6)和小半球(7)的材質(zhì)為氧化鋅材料、氮化鎵材料或碳化硅材料中的任意一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有半球光子晶體復(fù)周期結(jié)構(gòu)的高出光效率二極管,其特征在于,所述大半球(6)和小半球(7)的材質(zhì)為氮化鎵材料。

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