[發明專利]一種具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管在審
| 申請號： | 201710614758.8 | 申請日： | 2017-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN107464866A | 公開（公告）日： | 2017-12-12 |
| 發明（設計）人： | 葛道晗;黃修康;張立強;張金花;盧樂;程廣貴;丁建寧 | 申請（專利權）人： | 江蘇大學 |
| 主分類號： | H01L33/06 | 分類號： | H01L33/06;H01L33/16 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 半球 光子 晶體 周期 結構 高出光 效率 二極管 | ||
1.一種具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，包括至下而上依次連接的藍寶石襯底(1)、緩沖層(2)、N型半導體層(3)、多量子阱層(4)和P型半導體層(5)；
所述P型半導體層(5)上設有正方晶格的半球光子晶體復周期結構陣列；所述半球光子晶體復周期結構陣列包括若干大半球(6)和小半球(7)，所述大半球(6)的直徑大于小半球(7)的直徑；
所述大半球(6)以晶格常數為a的正方排列，所述小半球(7)也是以晶格常數為a的正方排列均勻布置在大半球(6)的排列中，且所述相鄰的大半球(6)和小半球(7)間隔分布組成三角形排列。
2.根據權利要求1所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，在三角形排列中，兩個相鄰的大半球(6)之間的邊為a，大半球(6)與小半球(7)之間的邊均為
3.根據權利要求1所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)直徑為1200±50nm，所述小半球(7)直徑為360±20nm。
4.根據權利要求3所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)直徑為1200nm，所述小半球(7)直徑為360nm。
5.根據權利要求3所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述正方晶格常數a為1500士50nm。
6.根據權利要求5所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述正方晶格常數為1500nm。
7.根據權利要求1所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)和小半球(7)的材質為半導體材料。
8.根據權利要求7所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)和小半球(7)的材質為氧化鋅材料、氮化鎵材料或碳化硅材料中的任意一種。
9.根據權利要求8所述的具有半球光子晶體復周期結構的高出光效率二極管，其特征在于，所述大半球(6)和小半球(7)的材質為氮化鎵材料。
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