[發明專利]間隙粒子散布裝置

有效

• 申請號: 201710613734.0
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN107463030B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 余威
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1339
• 分類號: G02F1/1339;G02F1/13
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種間隙粒子散布裝置，用以向玻璃基板表面散布間隙粒子，其特征在于，包括：

一密封腔室，所述密封腔室內壁通入電流以產生靜電；

以及位于所述密封腔室內的基臺，位于所述密封腔室底部，用以承載所述玻璃基板；

頂針，可伸縮地設置于所述基臺表面，用以抬升所述玻璃基板；

以及若干吸附組件，對應設置于所述基臺的四個邊緣區域，各所述吸附組件獨立通入電流，以分別控制各所述吸附組件的靜電吸附力；

其中，所述吸附組件包括吸附板，以及設置于所述吸附板底部的卡件，所述卡件的一側卡設于所述基臺邊緣，所述吸附板的一端與所述卡件相接；所述吸附板呈傾斜設置，所述吸附板與所在基臺邊緣的區域形成開角，所述開角朝向該基臺邊緣的外側。

2.根據權利要求1所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述吸附板的一端與所述卡件上側鉸連，所述吸附板與所述卡件的連接處設置有限位件。

3.根據權利要求1所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述吸附板與相連接的所述卡件，通過同一金屬薄板彎折成型。

4.根據權利要求1至3任一項權利要求所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述卡件包括上卡板、與所述上卡板相對設置的下卡板、以及一側板，所述上卡板與所述下卡板的同一端通過所述側板固定連接，所述上卡板的相對另一端與所述吸附板的端部相連接。

5.根據權利要求1所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述吸附板一側設置有可伸縮地副板，所述副板的長邊與所述吸附板的長邊相互平行。

6.根據權利要求5所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述吸附板的內側上端設置有第一卡邊，所述吸附板的內側下端設置有平行于所述第一卡邊的第二卡邊，所述副板可滑動地卡設于所述第一卡邊與所述第二卡邊之間。

7.根據權利要求1所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述密封腔室的內部頂端設置有噴頭，所述噴頭連接有管道，所述管道的相對另一端連接有間隙粒子容器，所述間隙粒子容器內混合有氮氣。

8.根據權利要求1所述的間隙粒子散布裝置，其特征在于，所述密封腔室的底部開設有排氣口，所述密封腔室的排氣口處設置有氣閥。