[發明專利]晶圓充氣負載平臺的控制方法

在審

• 申請號: 201710611564.2
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN109298737A
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 呂思緯;陳勇州;古伊鈞;林祺浩
• 申請（專利權）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號: G05D27/02
• 分類號: G05D27/02
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙) 11446
• 代理人: 劉國偉;武玉琴

1.一種晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，包括：

接收一主控端的充氣命令；

判斷一載體是否設置在一負載平臺上；

開閥以執行一充氣動作；

判斷開閥是否成功；

若開閥成功，回報一事件信息至所述主控端；以及

等待所述主控端的一關閥命令。

2.如權利要求1所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，還包括：

若判斷開閥并沒有成功，則判斷是否超過一失敗次數設定；

若并未超過所述失敗次數設定，則重新執行開閥動作；以及

若超過所述失敗次數設定，則拒絕所述充氣命令，并提供一警示信息。

3.如權利要求1所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，還包括：

若所述負載平臺上沒有設置所述載體，則拒絕所述充氣命令，并提供一警示信息。

4.如權利要求1所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，還包括：

根據其他判定條件上報至少一事件至所述主控端。

5.如權利要求4所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，其中所述根據其他判定條件上報至少一事件至所述主控端的步驟中，包括：

判斷所述載體是否設置在所述負載平臺上；

判斷供氣流量；

判斷濕度；

判斷溫度；

判斷進氣壓力；

判斷出氣壓力；以及

等待所述主控端關閥命令。

6.如權利要求5所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，所述根據其他判定條件上報至少一事件至所述主控端的步驟中，還包括下列步驟：

提供一無載體的警示信號；以及

提供一警示信息。

7.如權利要求1所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，所述負載平臺還包括一控制模塊，所述控制模塊通過至少二傳感器信號對所述載體進行檢測。

8.如權利要求1所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，所述負載平臺上設置有所述載體，當所述載體被移除時，經過一緩沖時間后，所述負載平臺檢測所述負載平臺上并無設置所述載體，則對所述負載平臺噴氣至少一次。

9.如權利要求1所述的晶圓充氣負載平臺的控制方法，其特征在于，所述負載平臺上沒有設置所述載體時，每間隔一設定間隔時間后，所述負載平臺噴氣至少一次。