[發明專利]一種低成本鈮管靶的制造方法

有效

• 申請號: 201710611021.0
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN107299327B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 王延龍;彭凌劍;李軍
• 申請（專利權）人: 北京興榮源科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;B22D19/16;B23P15/00
• 代理公司: 暫無信息
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1.一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于：通過將鈮管靶非濺射區域用低成本的鈦替代高成本鈮，達到降低成本的目的；具體是通過真空電子束熔煉并澆鑄成型的鈮管坯，將鈮管坯內、外壁車削干凈，然后在真空狀態下通過電渣爐將熔融的純鈦液澆鑄并充滿鈮管坯的內孔，形成鈮鈦復合棒；冷卻之后，對鈮鈦復合棒開中心孔，然后加熱并擠壓成需要的尺寸規格；校直處理后，通過機加工鈮鈦復合管的內外表面，得到需要尺寸的鈮管靶。

2.根據權利要求1所述的一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于，所述的鈮管靶非濺射區域，是指鈮管靶從內壁開始往外，厚度為總厚度的2/5，此部分區域主要用來通冷卻循環水，是鈮管靶濺射之后剩余的部分，不參與磁控濺射。

3.根據權利要求1所述的一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于，所述的通過真空電子束熔煉并澆鑄成型的鈮管坯，是通過真空電子束熔煉并澆鑄得到的尺寸為內徑φ50～150mm，外徑φ100～300mm的坯料，要求鈮的純度大于99.95％。

4.根據權利要求1所述的一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于，所述的鈮管坯內、外壁車削干凈，是需要將鈮管坯的氣孔、夾雜、凹坑等缺陷去除干凈，內壁的粗糙度優于Ra6.4，直線度小于0.2mm。

5.根據權利要求1所述的一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于，所述的在真空狀態下通過電渣爐將熔融的純鈦液澆鑄并充滿鈮管坯的內孔，形成鈮鈦復合棒，是通過電渣爐熔煉的方法將純度為99.5％以上的純鈦熔液澆鑄到鈮管坯內部，冒口處進行補縮。

6.根據權利要求1所述的一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于，所述的對鈮鈦復合棒開中心孔，是通過機加工鏜孔的方式，在正中心鈦材的位置鏜出內徑為45～60mm的內孔。

7.根據權利要求1所述的一種低成本鈮管靶的制造方法，其特征在于，所述的加熱并擠壓成需要的尺寸規格，其加熱溫度為850～1400℃，保溫0.5～3小時，擠壓比為2～8；擠壓速率為20～200mm每分鐘，確保內壁的鈦層厚度為3～6mm。