[發明專利]微機電光學波長參考標準具有效
| 申請號： | 201710610657.3 | 申請日： | 2017-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN109298504B | 公開（公告）日： | 2021-01-29 |
| 發明（設計）人： | 吳亞明;徐靜 | 申請（專利權）人： | 安徽中科米微電子技術有限公司 |
| 主分類號： | G02B7/18 | 分類號： | G02B7/18;G02B26/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孫佳胤 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 光學 波長 參考 標準 | ||
1.一種微機電光學波長參考標準具，其特征在于，包括：
法布里-珀羅干涉腔，包括相對設置的第一光學反射鏡和第二光學反射鏡，且所述第一光學反射鏡和所述第二光學反射鏡中間設置間隔體；
所述第一光學反射鏡為由對稱分布的雙材料懸臂梁支撐的可動薄膜反射鏡，所述第二光學反射鏡為固定光學反射鏡；
所述雙材料懸臂梁，包括懸臂梁主體和覆蓋于所述懸臂梁主體表面的薄膜層，所述懸臂梁主體與所述薄膜層具有不同的熱膨脹系數；
所述雙材料懸臂梁能夠推動所述第一光學反射鏡沿著所述法布里-珀羅干涉腔的法線方向移動。
2.根據權利要求1所述的微機電光學波長參考標準具，其特征在于，所述薄膜層由二氧化硅、金屬或聚合物制造而成。
3.根據權利要求1所述的微機電光學波長參考標準具，其特征在于，所述第二光學反射鏡采用玻璃或硅材料制造而成。
4.根據權利要求1所述的微機電光學波長參考標準具，其特征在于，所述第一光學反射鏡靠近所述第二光學反射鏡的一側鍍制第一光學反射膜，遠離所述第二光學反射鏡的一側鍍制第一光學增透膜；所述第二光學反射鏡靠近所述第一光學反射鏡的一側鍍制第二光學增透膜，遠離所述第一光學反射鏡的一側鍍制第二光學反射膜。
5.根據權利要求1所述的微機電光學波長參考標準具，其特征在于，所述間隔體中部設置一通光孔。
6.根據權利要求1所述的微機電光學波長參考標準具，其特征在于，所述間隔體由二氧化硅、玻璃、硅、金屬或聚合物制造而成。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于安徽中科米微電子技術有限公司，未經安徽中科米微電子技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710610657.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
