[發明專利]一種微波等離子體化學氣相沉積裝置及其生產方法

在審

• 申請號: 201710609693.8
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN107227450A
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 凌海林;袁穩;陳天鵬;凌天杰
• 申請（專利權）人: 無錫遠穩烯科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/517;C23C16/458
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 秦昌輝

1.一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，包括殼體，其特征在于：所述殼體的上表面設有微波輸入口，所述微波輸入口的下方設置有基板，所述基板的底面設置有環形天線，所述基板與殼體之間設置有由微波介質材料制成的管狀微波窗，所述管狀微波窗的內腔與所述微波輸入口連通，管狀微波窗的頂端與殼體連接，管狀微波窗的底端設置于所述基板的頂面，所述殼體的底端設置有沉積臺，所述沉積臺位于環形天線的下方，并且沉積臺能夠在第一升降裝置的驅動下上下移動，所述沉積臺的外側面設置有管狀結構的等離子體穩定環，所述沉積臺、等離子體穩定環、殼體、管狀微波窗及基板包圍形成封閉的諧振腔。

2.根據權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于：所述沉積臺內設有可循環的冷卻介質。

3.根據權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于：所述等離子體穩定環內設有可循環的冷卻介質。

4.根據權利要求3所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于：所述等離子體穩定環能夠在第二升降裝置的驅動下沿沉積臺的表面上下移動。

5.根據權利要求4所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于：所述等離子體穩定環由鐵制成。

6.一種如權利要求4所述金剛石合成的微波等離子體化學氣相沉積裝置的金剛石生產方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：對諧振腔進行抽真空；

S2：向諧振腔內充入氫氣；

S3：利用微波發生裝置向微波輸入口發射微波；

S4：向諧振腔中通入甲烷氣體進行金剛石生長；

S5：通過第一升降裝置驅動沉積臺下降，以匹配金剛石的生長速度。