[發(fā)明專利]一種聚焦離子束顯微鏡機臺

有效

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• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN107437488B
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設計）人: 李成
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238
• 代理人: 潘中毅;熊賢卿

本發(fā)明提供一種聚焦離子束顯微鏡機臺，其包括：電鏡鏡頭、腔室以及交換倉；腔室的底部設置有觀測臺，在觀測臺上固定連接有支撐臺，電鏡鏡頭垂直貫穿腔室的頂部，且與支撐臺正對；交換倉貫穿腔室的側壁且固定在交換倉上，交換倉設置有開孔，且開孔正對支撐臺；交換倉中設置有樣品臺、樣品底座以及操縱桿，操縱桿與樣品臺之間卡扣連接，樣品底座與樣品臺之間固定連接；樣品底座上設置有第一凹槽，且第一凹槽的橫截面為倒梯形或者矩形。本發(fā)明提供一種聚焦離子束顯微鏡機臺可以支持掃描電子顯微鏡的放樣方式，可以直接當作掃描電子顯微鏡的機臺使用。

技術領域

本發(fā)明涉及測試分析技術領域，尤其涉及一種聚焦離子束顯微鏡機臺。

背景技術

近年來TFT-LCD顯示面板在電視機、手機、Pad等消費型電子產品上得到廣泛應用。其擁有高亮度、飽色域、高飽和度、大視角等特點，為消費者提供良好的視覺體驗，市場前景廣闊。隨著移動設備持有量爆發(fā)式增長，手機屏的需求也逐年增長，手機屏的生產數(shù)量及品質要求也相應亟待提高。

TFT-LCD手機屏結構包括：TFT(Thin Film Transistor)基板，TFT基板上主要為線路、晶體管、有機層等各膜層，主要負責電信號傳輸；CF(Color Filter，濾光片)基板，也稱為彩色濾光片，其上的紅(R)、綠(G)、藍(B)色阻可以提供顯示所需的色彩，使顯示面板顯示出彩色的畫面；TFT和CF基板四周會以框膠粘連，中間會填充液晶。

手機屏在生產制造過程中會產生大量微觀異常，比如膜層斷裂、膜層異物等需要電子顯微鏡做分析，另外生產過程中產品的膜厚、線寬、角度等也需要電子顯微鏡協(xié)助量測以確認參數(shù)是否符合要求。

LCD行業(yè)一般使用的電鏡有兩種：SEM(掃描電子顯微鏡)及FIB(聚焦離子束顯微鏡)，其中原理上FIB兼有SEM功能，但是廠商一般設計思路為，SEM進行膜層參數(shù)量測，F(xiàn)IB進行異常分析。FIB設備默認樣品水平放置，而SEM要求樣品垂直或傾斜放置，故原有樣品底座不支持SEM放樣方式，導致FIB設備的原廠機構設置并不支持直接進行SEM方式量測數(shù)據。

發(fā)明內容

為解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種聚焦離子束顯微鏡機臺，可以直接當作掃描電子顯微鏡的機臺使用。

本發(fā)明提供的一種聚焦離子束顯微鏡機臺，包括：電鏡鏡頭、腔室以及交換倉；

所述腔室的底部設置有觀測臺，在所述觀測臺上固定連接有支撐臺，所述電鏡鏡頭垂直貫穿所述腔室的頂部，且正對所述支撐臺；

所述交換倉貫穿所述腔室的側壁且固定在所述交換倉上，所述交換倉設置有開孔，且所述開孔正對所述支撐臺；

所述交換倉中設置有樣品臺、樣品底座以及操縱桿，所述操縱桿與所述樣品臺之間卡扣連接，所述樣品底座與所述樣品臺之間固定連接；

所述樣品底座上設置有第一凹槽，且所述第一凹槽的橫截面為倒梯形或者矩形。

優(yōu)選地，所述支撐臺與所述電鏡鏡頭之間的距離為17～27毫米。

優(yōu)選地，所述開孔的橫截面為矩形。

優(yōu)選地，所述樣品底座為圓盤狀，且所述樣品底座的底面直徑范圍為50～55毫米。

優(yōu)選地，所述樣品底座通過螺絲與所述樣品臺固定連接。

優(yōu)選地，當所述第一凹槽的橫截面為倒梯形時，所述第一凹槽的側邊與上底邊之間的夾角范圍為35～90度。

優(yōu)選地，所述第一凹槽的底部寬度范圍為10～35毫米。

優(yōu)選地，所述開孔的橫截面的長度范圍為55～65毫米，寬度范圍為31～41毫米。

優(yōu)選地，所述支撐臺上設置有第二凹槽，所述第二凹槽與所述樣品臺正對，且所述第二凹槽的寬度不小于所述樣品底座的底面直徑。