[發明專利]自動換靶裝置的使用方法

有效

• 申請號: 201710607841.2
• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN107267931B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 張榮生
• 申請（專利權）人: 利辛縣誠創科技中介服務有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/56
• 代理公司: 11530 北京華識知識產權代理有限公司
• 代理人: 喬浩剛<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)實時推進靶材：當蒸鍍工藝在進行時，推進機構根據第二感應器的數據由控制單元控制實時自動的通過第二伺服電機帶動推進平臺將靶容器內的靶材根據蒸鍍工藝的消耗量實時向上推進；

(2)自動換靶材：當蒸鍍時消耗完一個靶材后，與靶容器相對應結合的靶材盤上的第一靶材腔則空了，第一靶材腔內的感應器則發出提示，待蒸鍍工藝結束后，電子束槍關閉、卡門關閉，由卡門托住靶容器內的靶材，推進平臺則向下移動，當下移到靶材盤的下方后，由第三伺服電機帶動靶材盤旋轉，將靶材盤上另一個有靶材的第二靶材腔轉動到靶容器的正下方與靶容器的圓柱形空腔精確地相重合，推進平臺則上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材，然后卡門打開，推進平臺則繼續上移將靶材推進至靶容器內且與靶容器內的靶材緊密結合，推進機構則停止；

(3)向靶材盤內推入替換靶材：上推機構啟動，真空鍍膜腔與備用靶材腔之間的閥門打開，靶材盤的托臺打開，第一伺服電機帶動上推平臺上移，則將上推平臺上的備用靶材上移至靶材盤中沒有靶材的第一靶材腔內；靶材盤的托臺則關閉托住靶材，第一伺服電機則帶動上推平臺向下移動至備用靶材腔內的原始位置，真空鍍膜腔與備用靶材腔之間的閥門關閉。

2.根據權利要求1所述的自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，還包括步驟(4)備用靶材腔添加靶材：由控制單元控制氣閥打開向備用靶材腔內通入空氣，直至備用靶材腔內的真空度與大氣相同，再將備用靶材腔的腔門打開，將靶材放入備用靶材腔里的上推平臺上，且保證上推平臺在靶材的中心位置，關閉腔門，再由控制單元控制機械泵、真空泵對備用靶材腔抽真空，待備用靶材腔真空度達到鍍膜腔室的真空度后，真空泵停止。

3.根據權利要求1所述的自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，所述備用靶材腔設置在所述真空鍍膜腔外且位于所述靶容器的下方，所述備用靶材腔與所述真空鍍膜腔相連接，且中間設有閥門以隔離或連通；升降機構貫穿所述備用靶材腔、真空鍍膜腔與所述靶容器的底部相連接；所述升降機構用于在進行蒸鍍工藝時將靶材實時根據靶材的消耗量向上移動和當消耗完一個靶材后將備用靶材腔中的靶材移動至真空鍍膜腔內；所述備用靶材腔設有腔門，且所述備用靶材腔連接有真空泵和氣閥；所述控制單元包括升降控制單元和真空控制單元；所述升降控制單元與所述升降機構相連接；所述真空控制單元與機械泵、真空泵和氣閥相連接。

4.根據權利要求3所述的自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，所述升降機構包括上推機構和推進機構，所述上推機構包括第一伺服電機、上推平臺和第一感應器；所述第一伺服電機通過第一絲桿與所述上推平臺相連接，所述第一感應器設置在所述備用靶材腔內用于感應所述上推平臺上是否有靶材；所述推進機構包括第二伺服電機、推進平臺和第二感應器；所述第二伺服電機通過第二絲桿與所述推進平臺相連接，所述第二感應器設置在所述靶容器內用于檢測靶容器內的靶材。

5.根據權利要求3所述的自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，所述靶容器為圓柱形空腔，所述靶容器的直徑大于靶材的直徑且所述靶容器的內壁與靶材的外壁的直線距離不超過0.5cm；所述靶容器的下方設置有可旋轉的靶材盤，所述靶材盤內設有第一靶材腔和第二靶材腔，所述第一靶材腔和第二靶材腔均為圓柱形空腔，用于容納備用靶材；所述靶材盤的底部通過第三絲桿貫穿真空鍍膜腔在真空鍍膜腔外連接有第三伺服電機用于旋轉靶材盤。

6.根據權利要求5所述的自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，所述備用靶材腔通過連接管腔與所述真空鍍膜腔相連接且伸入真空鍍膜腔內與靶材盤相連接，所述閥門設置在所述連接管腔與所述靶材盤的連接處；所述連接管腔的直徑與所述靶容器、第一靶材腔和第二靶材腔的直徑相同，所述連接管腔與靶容器的位置是錯開設置的。

7.根據權利要求6所述的自動換靶裝置的使用方法，其特征在于，所述靶材盤經過旋轉可以使靶材盤上的第一靶材腔和第二靶材腔分別與所述靶容器的圓柱形空腔相重合。