[發(fā)明專利]陣列基板及其制造方法、液晶顯示裝置

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• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN107505786A
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設計）人: 周萬亮
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,王浩

技術領域

本發(fā)明涉及一種液晶顯示領域，并且更具體地，涉及一種陣列基板及其制造方法和液晶顯示裝置。

背景技術

現今社會多媒體技術相當發(fā)達，多半受惠于半導體元件或顯示裝置的進步。就顯示器而言，具有高畫質、空間利用效率佳、低消耗功率、無輻射等優(yōu)越特性的液晶顯示器已逐漸成為市場的主流。

液晶顯示器的主要制程包括有薄膜晶體管陣列基板(TFT Array)制程、彩色濾光基板(Color Filter)制程、液晶單元成盒支撐與液晶顯示模組組裝制程等。其中，在低溫多晶硅、曲面及柔性面板制造過程中，為了保證公共電極層表面平坦化，通常增加用于隔絕公共電極層和源/漏極之間的有機平坦層。在面板的制造過程中，該有機平坦層的厚度由于絕緣效果原因降低空間很小，如果降低其厚度則會影響平坦度，同時會造成對于過孔坡度角的控制較難，從而很容易造成像素電極與源/漏極之間接觸不良，存在斷線風險。尤其對于曲面或柔性面板，用戶在使用過程中易發(fā)生面板變形極碰撞而導致接觸不良。

發(fā)明內容

針對上述現有技術中的問題，本申請?zhí)岢隽艘环N陣列基板及其制造方法和液晶顯示裝置，通過在平坦層的過孔中填充并覆蓋一層有機膜層增加膜層保護，提高像素電極及絕緣膜層之間的應力，避免了膜層之間斷線而導致的像素電極與源/漏極接觸不良的問題。

第一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N陣列基板，該基板包括依次設置的基板、薄膜晶體管、有機平坦層、公共電極層、鈍化層、像素電極層、過孔以及感光間隙子(Photo Spacer,PS)層或黑色矩陣(Black Matrix,BM)層，其中，所述過孔依次穿過所述平坦層和所述鈍化層，所述像素電極層形成于所述過孔的內壁上和所述鈍化層上，且所述像素電極層與所述薄膜晶體管的漏極電連接，還包括填充于所述過孔中并與所述像素電極層接觸的有機膜層，所述有機膜層的上表面高于所述有機平坦層的表面。通過該方面的陣列基板，能夠提高過孔區(qū)膜層間應力，避免膜層之間斷線而導致的像素電極與源/漏極接觸不良的問題。

根據第一方面的一種可能的實現方式，所述有機膜層與PS層或BM層形成于同一制程。通過該方面的實現方式，能夠無需增加多余的制程來形成有機膜層，增加了生產效率。

根據第一方面的一種可能的實現方式，PS層或BM層采用半色調掩膜版形成。通過該實現方式，能夠把兩道曝光工序合并為一個，縮短了生產周期，降低了生產成本。

根據第一方面的一種可能的實現方式，有機膜層為傘狀，所述有機膜層的上表面高于所述鈍化層且覆蓋所述鈍化層上的所述像素電極層。通過該可能的實現方式，能夠最大程度地提高過孔區(qū)膜層間的應力。

根據第一方面的一種可能的實現方式，有機膜層的所述上表面低于所述鈍化層。

根據第一方面的一種可能的實現方式，有機膜層的材質與所述有機平坦層的材質相同。

根據第一方面的一種可能的實現方式，薄膜晶體管包括柵極和源/漏極。

根據第一方面的一種可能的實現方式，柵極為頂柵式、底柵式或雙柵式中的一種。

第二方面，本申請?zhí)峁┝酥圃斓谝环矫婕捌涓鞣N可能的實現方式中的陣列基板的方法，該方法包括：步驟1、在所述基板上形成所述薄膜晶體管；步驟2、在所述薄膜晶體管上形成所述有機平坦層；步驟3、在所述有機平坦層上形成公共電極層；步驟4、在所述公共電極層上形成所述鈍化層；步驟5、在所述有機平坦層和所述鈍化層中形成所述過孔；步驟6、在所述過孔內壁和所述鈍化層上形成所述像素電極層；步驟7、在形成所述感光間隙子或所述黑色矩陣的制程中，在所述過孔中形成所述有機膜層，所述有機膜層的上表面高于所述有機平坦層的表面。通過該方面的制造陣列基板的方法，能夠提高過孔區(qū)膜層間應力，避免膜層之間斷線的風險，同時該有機膜層與PS層或BM層形成于同一制程，縮短了生產周期，降低了生產成本。

根據該方面的一種可能的實現方式，步驟7具體包括：使用半色調掩膜版形成PS層或BM層。

第三方面，本申請還提供了一種液晶顯示裝置，該液晶顯示裝置包括第一方面及其各種可能的實現方式、第二方面及其可能的實現方式中的陣列基板。

上述技術特征可以各種適合的方式組合或由等效的技術特征來替代，只要能夠達到本發(fā)明的目的。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中：

圖1為根據本發(fā)明一個實施例的陣列基板的橫截面圖；

圖2為根據本發(fā)明另一個實施例的陣列基板的橫截面圖；

圖3為根據本發(fā)明又一個實施例的陣列基板的橫截面圖。