[發(fā)明專利]一種基于微納加工技術(shù)的柔性透明超級(jí)電容器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710605674.8
• 申請(qǐng)日: 2017-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN107346712B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮立超;陳林洋;于雪梅;劉曉燕;管鵬飛;張淑蘭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 淮海工學(xué)院;江蘇省海洋資源開發(fā)研究院（連云港）
• 主分類號(hào): H01G11/84
• 分類號(hào): H01G11/84;H01G11/86
• 代理公司: 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32330
• 代理人: 劉剛

1.一種基于微納加工技術(shù)的柔性透明超級(jí)電容器，其特征在于，是由以下步驟制備而成：

S1、利用硅片作為基底，在其上旋涂一層PMMA薄膜；

S2、通過旋涂和光刻技術(shù)在附有PMMA膜的硅片上形成帶有網(wǎng)絡(luò)狀溝槽結(jié)構(gòu)的手指狀結(jié)構(gòu)的感光樹脂；

S3、通過磁控濺射技術(shù)在感光樹脂上沉積厚度可控的金屬合金層，清洗掉未反應(yīng)的感光樹脂后，得到沉積于PMMA表面呈規(guī)則有序條帶狀網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的金屬合金；

S4、去除PMMA后得到自支撐的電極，直接將其置于酸性條件下進(jìn)行選擇性腐蝕，結(jié)合后續(xù)的退火技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)納米孔隙結(jié)構(gòu)的控制；該步驟中，選擇性腐蝕是采用Mn-Cu-Ni三元合金作為原始電極材料，然后分別通過硫酸銨和硝酸依次腐蝕錳元素和銅元素；

S5、利用電化學(xué)方法將膺電容材料沉積在金屬合金內(nèi)部的納米孔隙孔壁上，獲得透明膺電容復(fù)合電極；

S6、利用該透明電極和透明固體電解質(zhì)在預(yù)張拉的彈性透明高分子上組裝成柔性透明超級(jí)電容器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微納加工技術(shù)的柔性透明超級(jí)電容器，其特征在于，步驟S4中，所述退火技術(shù)中的溫度選擇為300℃，500℃，700℃，900℃，退火時(shí)間為3h，5h，7h。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微納加工技術(shù)的柔性透明超級(jí)電容器，其特征在于，步驟S5中，利用電化學(xué)沉積方法，在金屬合金內(nèi)部的納米孔隙孔壁上沉積Ni(OH)₂，通過調(diào)整電化學(xué)沉積的電流/電壓值，沉積時(shí)間對(duì)Ni(OH)2的沉積層厚度進(jìn)行調(diào)控。