[發明專利]物鏡保護裝置、物鏡系統以及光刻設備

有效

• 申請號: 201710602722.8
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN109283797B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 李先明;郝保同
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種物鏡保護裝置，其特征在于，所述物鏡保護裝置包括一主體結構，所述主體結構具有送氣單元和抽排單元，所述送氣單元輸出氣體，所述抽排單元對所述送氣單元輸出的氣體進行抽排，從而在所述送氣單元和所述抽排單元之間形成至少一層風幕；所述送氣單元和所述抽排單元位于主體結構的內側，且相對設置；

所述送氣單元具有送氣面，所述送氣面包括多個不在一個平面的子送氣面，多個所述子送氣面形成階梯型；所述抽排單元具有第一抽氣面，所述第一抽氣面包括不在一個平面的多個子第一抽氣面，多個所述子第一抽氣面形成階梯型；所述送氣面與所述第一抽氣面相對設置；所述送氣面垂直于所述送氣單元的送氣方向，所述第一抽氣面垂直于所述送氣單元的送氣方向；

所述主體結構還包括第二抽排單元，所述第二抽排單元具有第二抽氣面，所述第二抽氣面位于所述主體結構下表面；所述第二抽排單元設有第二抽排腔，所述第二抽氣面將氣體抽至所述第二抽排腔；所述抽排單元包括第一抽排腔，所述第一抽排腔和所述第二抽排腔相互連通；

所述第二抽氣面設有若干第二抽氣口，所述第二抽氣面為環形；所述第二抽氣口繞所述主體結構一周分布，以使所述第二抽氣口將所述風幕圍住。

2.如權利要求1所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述送氣面上設有至少一個送氣口，所述第一抽氣面上設有至少一個第一抽氣口。

3.如權利要求1或2所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述送氣面和/或所述第一抽氣面軸對稱分布。

4.如權利要求1所述的物鏡保護裝置，其特征在于，多個所述子送氣面之間平行分布。

5.如權利要求1所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述送氣單元還設有若干個非送氣面，所述非送氣面上不設有送氣口。

6.如權利要求5所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述非送氣面與所述送氣面呈一夾角。

7.如權利要求6所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述夾角范圍為85°～95°。

8.如權利要求1所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述多個子第一抽氣面之間平行分布。

9.如權利要求1所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述抽排單元還設有非抽氣面，所述非抽氣面上不設有第一抽氣口。

10.如權利要求9所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述非抽氣面與所述第一抽氣面呈一夾角。

11.如權利要求10所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述夾角為85°～95°。

12.如權利要求1所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述送氣單元上具有若干送氣口，所述抽排單元具有若干第一抽氣口，所述若干送氣口與所述若干第一抽氣口對向設置。

13.如權利要求12所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述若干送氣口與所述若干第一抽氣口一一對應。

14.如權利要求12所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述送氣單元具有進氣口，所述進氣口與若干送氣口均連通；所述抽排單元具有排氣口，所述排氣口與若干第一抽氣口均連通。

15.如權利要求14所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述送氣單元包括送氣腔，所述進氣口與所述送氣腔連通，氣體從所述進氣口進入所述送氣腔，由送氣口輸出。

16.如權利要求14所述的物鏡保護裝置，其特征在于，所述抽排單元包括第一抽排腔，所述排氣口與所述第一抽排腔連通，氣體從第一抽氣口進入所述第一抽排腔，由所述排氣口排出。