[發(fā)明專利]物鏡保護(hù)裝置、物鏡系統(tǒng)以及光刻設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710602722.8
• 申請(qǐng)日: 2017-07-21
• 公開（公告）號(hào): CN109283797B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李先明;郝保同
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述物鏡保護(hù)裝置包括一主體結(jié)構(gòu)，所述主體結(jié)構(gòu)具有送氣單元和抽排單元，所述送氣單元輸出氣體，所述抽排單元對(duì)所述送氣單元輸出的氣體進(jìn)行抽排，從而在所述送氣單元和所述抽排單元之間形成至少一層風(fēng)幕；所述送氣單元和所述抽排單元位于主體結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)，且相對(duì)設(shè)置；

所述送氣單元具有送氣面，所述送氣面包括多個(gè)不在一個(gè)平面的子送氣面，多個(gè)所述子送氣面形成階梯型；所述抽排單元具有第一抽氣面，所述第一抽氣面包括不在一個(gè)平面的多個(gè)子第一抽氣面，多個(gè)所述子第一抽氣面形成階梯型；所述送氣面與所述第一抽氣面相對(duì)設(shè)置；所述送氣面垂直于所述送氣單元的送氣方向，所述第一抽氣面垂直于所述送氣單元的送氣方向；

所述主體結(jié)構(gòu)還包括第二抽排單元，所述第二抽排單元具有第二抽氣面，所述第二抽氣面位于所述主體結(jié)構(gòu)下表面；所述第二抽排單元設(shè)有第二抽排腔，所述第二抽氣面將氣體抽至所述第二抽排腔；所述抽排單元包括第一抽排腔，所述第一抽排腔和所述第二抽排腔相互連通；

所述第二抽氣面設(shè)有若干第二抽氣口，所述第二抽氣面為環(huán)形；所述第二抽氣口繞所述主體結(jié)構(gòu)一周分布，以使所述第二抽氣口將所述風(fēng)幕圍住。

2.如權(quán)利要求1所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述送氣面上設(shè)有至少一個(gè)送氣口，所述第一抽氣面上設(shè)有至少一個(gè)第一抽氣口。

3.如權(quán)利要求1或2所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述送氣面和/或所述第一抽氣面軸對(duì)稱分布。

4.如權(quán)利要求1所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，多個(gè)所述子送氣面之間平行分布。

5.如權(quán)利要求1所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述送氣單元還設(shè)有若干個(gè)非送氣面，所述非送氣面上不設(shè)有送氣口。

6.如權(quán)利要求5所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述非送氣面與所述送氣面呈一夾角。

7.如權(quán)利要求6所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述夾角范圍為85°～95°。

8.如權(quán)利要求1所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述多個(gè)子第一抽氣面之間平行分布。

9.如權(quán)利要求1所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述抽排單元還設(shè)有非抽氣面，所述非抽氣面上不設(shè)有第一抽氣口。

10.如權(quán)利要求9所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述非抽氣面與所述第一抽氣面呈一夾角。

11.如權(quán)利要求10所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述夾角為85°～95°。

12.如權(quán)利要求1所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述送氣單元上具有若干送氣口，所述抽排單元具有若干第一抽氣口，所述若干送氣口與所述若干第一抽氣口對(duì)向設(shè)置。

13.如權(quán)利要求12所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述若干送氣口與所述若干第一抽氣口一一對(duì)應(yīng)。

14.如權(quán)利要求12所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述送氣單元具有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口與若干送氣口均連通；所述抽排單元具有排氣口，所述排氣口與若干第一抽氣口均連通。

15.如權(quán)利要求14所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述送氣單元包括送氣腔，所述進(jìn)氣口與所述送氣腔連通，氣體從所述進(jìn)氣口進(jìn)入所述送氣腔，由送氣口輸出。

16.如權(quán)利要求14所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，所述抽排單元包括第一抽排腔，所述排氣口與所述第一抽排腔連通，氣體從第一抽氣口進(jìn)入所述第一抽排腔，由所述排氣口排出。