[發(fā)明專利]一種基于雙頻激光干涉原理的精確位移監(jiān)測系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710601334.8 | 申請日： | 2017-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN107339941A | 公開（公告）日： | 2017-11-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 孔令豹;周攀宇;徐敏 | 申請（專利權(quán)）人： | 復(fù)旦大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/03 | 分類號： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司31200 | 代理人： | 陸飛,陸尤 |
| 地址： | 200433 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 雙頻 激光 干涉 原理 精確 位移 監(jiān)測 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于雙頻激光干涉原理的精確位移監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，包括一臺雙頻激光器，在該激光器的輸出光路上設(shè)置一個(gè)四分之一波片，在四分之一波片后放置一塊分光鏡，該分光鏡的分光面與激光器輸出光路呈45°夾角，在該分光鏡的兩路輸出光方向分別放置兩個(gè)與輸出光路呈45°夾角的偏振分光鏡，在偏振分光鏡的反射方向放置一塊固定標(biāo)準(zhǔn)平面鏡，在透射方向放置一塊與輸出光路呈45°的反射鏡，在反射鏡輸出光方向放置一塊凸透鏡，凸透鏡焦點(diǎn)位置在標(biāo)準(zhǔn)球面的球心，在偏振分光鏡的反射光路的反側(cè)還分別有一個(gè)探測器。
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