[發明專利]修整的監視方法以及研磨裝置

有效

• 申請號: 201710599619.2
• 申請日: 2013-08-27
• 公開（公告）號: CN107263320B
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 筱崎弘行
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

1.一種研磨墊的修整的監視方法，其特征在于，

使支承研磨墊的研磨臺旋轉，

一邊使修整器沿所述研磨墊的半徑方向擺動，一邊將所述修整器按壓于旋轉的所述研磨墊而修整所述研磨墊，

在所述研磨墊的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的移動距離之積計算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的每單位時間的移動距離之積計算出所述修整器的功率，

基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率來確定所述修整器的剩余壽命，

若將所述修整器的剩余壽命設為Tend，將所述修整器的容許總作功量設為W0，將所述修整器的作功量的累積值設為W1，將所述功率設為P，則所述修整器的剩余壽命由

Tend＝(W0-W1)/P

來表示。

2.一種研磨墊的修整的監視方法，其特征在于，

使支承研磨墊的研磨臺旋轉，

一邊使修整器沿所述研磨墊的半徑方向擺動，一邊將所述修整器按壓于旋轉的所述研磨墊而修整所述研磨墊，

在所述研磨墊的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的移動距離之積計算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的規定的時間范圍內的移動平均值之積計算出所述修整器的功率，

基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率來確定所述修整器的剩余壽命，

若將所述修整器的剩余壽命設為Tend，將所述修整器的容許總作功量設為W0，將所述修整器的作功量的累積值設為W1，將所述功率設為P，則所述修整器的剩余壽命由

Tend＝(W0-W1)/P

來表示。

3.根據權利要求1或2所述的研磨墊的修整的監視方法，其特征在于，

所述移動距離由從所述研磨臺的中心到所述修整器的距離和所述研磨墊的轉速來計算。

4.一種研磨裝置，其特征在于，具有：

支承研磨墊的研磨臺；

使所述研磨臺旋轉的研磨臺電機；

修整所述研磨墊的修整器；

使所述修整器沿所述研磨墊的半徑方向擺動的旋轉電機；

將所述修整器按壓于旋轉的所述研磨墊上的按壓機構；和

監視所述研磨墊的修整的研磨墊監視裝置，

所述研磨墊監視裝置在所述研磨墊的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的移動距離之積計算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的每單位時間的移動距離之積計算出所述修整器的功率，

所述研磨墊監視裝置基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率來確定所述修整器的剩余壽命，

若將所述修整器的剩余壽命設為Tend，將所述修整器的容許總作功量設為W0，將所述修整器的作功量的累積值設為W1，將所述功率設為P，則所述修整器的剩余壽命由

Tend＝(W0-W1)/P

來表示。

5.一種研磨裝置，其特征在于，具有：

支承研磨墊的研磨臺；

使所述研磨臺旋轉的研磨臺電機；

修整所述研磨墊的修整器；

使所述修整器沿所述研磨墊的半徑方向擺動的旋轉電機；

將所述修整器按壓于旋轉的所述研磨墊上的按壓機構；和

監視所述研磨墊的修整的研磨墊監視裝置，

所述研磨墊監視裝置在所述研磨墊的修整中，由作用于所述修整器的水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的移動距離之積計算出所述修整器的作功量，由所述水平方向的力和所述修整器在所述研磨墊的圓周方向上的規定的時間范圍內的移動平均值之積計算出所述修整器的功率，

所述研磨墊監視裝置基于所述修整器的作功量和所述修整器的功率來確定所述修整器的剩余壽命，

若將所述修整器的剩余壽命設為Tend，將所述修整器的容許總作功量設為W0，將所述修整器的作功量的累積值設為W1，將所述功率設為P，則所述修整器的剩余壽命由

Tend＝(W0-W1)/P

來表示。

6.根據權利要求4或5所述的研磨裝置，其特征在于，

所述移動距離由從所述研磨臺的中心到所述修整器的距離和所述研磨墊的轉速來計算。