[發明專利]基于鋁?砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器

在審

• 申請號: 201710598766.8
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN107369721A
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 劉正奇;劉桂強;劉曉山
• 申請（專利權）人: 江西師范大學
• 主分類號: H01L31/02
• 分類號: H01L31/02;H01L31/0216;H01L31/0352
• 代理公司: 南昌華成聯合知識產權代理事務所(普通合伙)36126
• 代理人: 黃晶

1.一種基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，它包括襯底、鋁膜層、砷化鎵結構層，其特征在于：自下而上依次設置襯底、鋁膜層、砷化鎵結構層，所述砷化鎵結構層由砷化鎵膜層和砷化鎵顆粒陣列組成；所述鋁膜層、砷化鎵結構層形成具有寬波段光完美吸收特性的結構，通過調節砷化鎵結構的幾何參數和單元晶格的周期，調控光吸收特性。

2.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述砷化鎵顆粒組成的周期性陣列圖案設置在砷化鎵膜層上表面。

3.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述砷化鎵結構層的材料為砷化鎵。

4.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述金屬膜層的材料為鋁。

5.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述砷化鎵顆粒的結構為圓柱體結構。

6.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述砷化鎵膜層厚度處于20nm～50nm范圍。

7.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述襯底的材料為硅片、玻璃或柔性材料。

8.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述砷化鎵顆粒陣列為四方晶格，陣列的周期為300nm～700nm。

9.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述砷化鎵顆粒的圖案形狀大小相同，砷化鎵顆粒的尺寸大小包括直徑范圍為200nm～600nm、厚度范圍為20nm～100nm。

10.根據權利要求1所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述鋁膜層其厚度大于等于50nm。

11.根據權利要求10所述的基于鋁-砷化鎵結構的寬波段光完美吸收器，其特征在于：所述鋁膜層其厚度為50nm～200nm。