[發明專利]一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器

有效

• 申請號: 201710596119.3
• 申請日: 2017-07-20
• 公開（公告）號: CN107356367B
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 王凡;陳寶成;劉寶偉;王洪巖;孫志成;孫帥;崔光浩;寧金明;李日東;宗義仲
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十九研究所
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 孟憲會

1.一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：它包括下電極引腳(1)、上電極(2)、吸氣劑(3)、共用電極引腳(4)、金屬膜片(5)、下電極(6)、焊料(7)和上電極引腳(8)；

上電極(2)的下表面(11)上加工第一環形槽(1-1)，第一環形槽(1-1)的內徑與上電極(2)之間形成第一硬質中心(1-2)，第一硬質中心(1-2)的厚度小于上電極(2)的厚度，上電極(2)的下表面(11)上分別加工第一通孔(1-3)、第二通孔(1-4)和第三通孔(1-5)，第一通孔(1-3)位于第一環形槽(1-1)上，第二通孔(1-4)和第三通孔(1-5)均位于第一環形槽(1-1)外徑與上電極(2)外徑之間的凸臺上，第一通孔(1-3)、第二通孔(1-4)和第三通孔(1-5)圍繞上電極(2)的縱向軸線呈120°均勻分布；

下電極(6)的上表面(42)上加工第二環形槽(6-1)，第二環形槽(6-1)的內徑與下電極(6)之間形成第二硬質中心(6-2)，第二硬質中心(6-2)的厚度小于下電極(6)的厚度，下電極(6)的上表面(42)上分別加工第四通孔(6-3)和第五通孔(6-4)，第四通孔(6-3)位于第二環形槽(6-1)外徑與下電極(6)外徑之間的凸臺上，第五通孔(6-4)的中心與第二環形槽(6-1)的內徑重合，第四通孔(6-3)和第五通孔(6-4)的中心在下電極(6)的同一半徑方向上；

上電極(2)安裝在下電極(6)上，上電極(2)的下表面(11)與下電極(6)的上表面固接，上電極(2)的第一環形槽(1-1)與下電極(6)的第二環形槽(6-1)相對設置，吸氣劑(3)置于上電極(2)的第一環形槽(1-1)內，金屬膜片(5)插裝在上電極(2)和下電極(6)之間，第一通孔(1-3)上安裝與其匹配的上電極引腳(8)，上電極引腳(8)與吸氣劑(3)的上端面接觸，上電極引腳(8)通過焊料(7)與上電極(2)固接，第二通孔(1-4)上安裝與其匹配的共用電極引腳(4)，共用電極引腳與金屬膜片(5)接觸，共用電極引腳(4)通過焊料(7)與上電極(2)固接，第三通孔(1-5)與第四通孔(6-3)的軸線位于同一條直線上，第四通孔(6-3)內安裝與其匹配的下電極引腳(1)，下電極引腳(1)的另一端插裝在第三通孔(1-5)內，下電極引腳(1)通過焊料(7)與下電極(6)固接。

2.根據權利要求1所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：上電極(1)和下電極(4)均為陶瓷電極。

3.根據權利要求2所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：上電極(2)的下表面(11)和下電極(6)的上表面(42)上均鍍有金屬涂層。

4.根據權利要求3所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：上電極(2)的第一環形槽(1-1)的尺寸與下電極(6)的第二環形槽(6-1)的尺寸一致。

5.根據權利要求4所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：上電極(2)與下電極引腳(1)之間存在間隙。

6.根據權利要求1或5所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：上電極(2)、金屬膜片(5)、上電極引腳(8)和共用電極引腳(4)形成真空密封腔。

7.根據權利要求1所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：焊料(7)為銀銅焊料。

8.根據權利要求1所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：金屬膜片(5)為鎳基合金膜片。

9.根據權利要求1所述的一種小型化差動式雙電容式薄膜真空傳感器，其特征在于：吸氣劑(3)為固態非蒸騰型吸氣劑。