[發明專利]微機電結構傳感器標定方法及裝置

在審

• 申請號: 201710594571.6
• 申請日: 2017-07-20
• 公開（公告）號: CN109283360A
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 楊莉
• 申請（專利權）人: 大陸汽車電子（連云港）有限公司
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00;G01P21/02
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 張亞非;楊曉光

本發明提供了一種微機電結構傳感器標定方法和裝置，該方法包括：獲取微機電結構傳感器安裝之后的初始誤差；獲取微機電結構傳感器在工作時的環境溫度；根據微機電結構傳感器在工作時的環境溫度以及環境溫度與微機電結構傳感器誤差之間的關系確定微機電結構傳感器的環境溫度誤差；以及使用微機電結構傳感器的初始誤差和環境溫度誤差對微機電結構傳感器的輸出值進行標定。

技術領域

本發明涉及微機電結構(MEMS,Micro Electro Mechanical Systems)傳感器領域，具體涉及一種微機電結構傳感器標定方法及裝置。

背景技術

MEMS傳感器是一種微米級的類似于集成電路芯片的器件，其包括硅微電子技術加工的機械振動系統和用于信號轉換控制的專用集成電路(ASIC)系統。MEMS傳感器在汽車、醫療、移動電子設備等領域有著廣泛的應用，例如其可在汽車的電子穩定控制(ESC)系統、制動防抱死(ABS)系統中用于檢測角速度和橫向/縱向加速度等。

由于MEMS傳感器在安裝時會存在一定的安裝誤差，造成使用時輸出值的誤差，因此需要在MEMS傳感器安裝后對其進行標定，即確定安裝誤差的大小，以便對輸出值進行校正。目前對MEMS傳感器的標定方法是在MEMS傳感器安裝后第一次上電時，讀取傳感器輸出值作為初始誤差值，之后在使用過程中將每次讀取的傳感器輸出值減去該初始誤差值，作為正確的傳感器輸出值。

然而，MEMS傳感器的輸出數據實際上受到環境溫度的影響很大。而目標的MEMS傳感器標定方法僅考慮了機械安裝誤差的影響，沒有考慮環境溫度的影響。

可見，本領域中需要一種改進的MEMS傳感器標定解決方案。

發明內容

在本發明的一個方面，提供了一種微機電結構MEMS傳感器標定方法，包括：獲取MEMS傳感器安裝之后的初始誤差；獲取MEMS傳感器在工作時的環境溫度；根據所述MEMS傳感器在工作時的環境溫度以及所述環境溫度與MEMS傳感器誤差之間的關系確定所述MEMS傳感器的環境溫度誤差；以及使用所述MEMS傳感器的初始誤差和環境溫度誤差對所述MEMS傳感器的輸出值進行標定。

在本發明的另一個方面，提供了一種微機電結構MEMS傳感器標定裝置，包括：MEMS傳感器；溫度傳感器，其被配置為檢測所述MEMS傳感器在工作時的環境溫度；微控制器，其被配置為：獲取所述MEMS傳感器安裝之后的初始誤差；根據所述MEMS傳感器在工作時的環境溫度以及環境溫度與MEMS傳感器誤差之間的關系確定所述MEMS傳感器的環境溫度誤差；以及使用所述MEMS傳感器的初始誤差和環境溫度誤差對所述MEMS傳感器的輸出值進行標定。

附圖說明

圖1示例性的示出了根據本發明的實施例的一種MEMS傳感器標定方法；

圖2示例性地示出了根據本發明的實施例的MEMS傳感器的標定方法所使用的神經網絡結構；以及

圖3示例性地示出了根據本發明的實施例的一種MEMS傳感器標定裝置的結構框圖。

具體實施方式

下面參照附圖描述本發明的實施例。在下面的描述中，闡述了許多具體細節以便使所屬技術領域的技術人員更全面地了解和實現本發明。但是，對所屬技術領域的技術人員明顯的是，本發明的實現可不具有這些具體細節中的一些。此外，應當理解的是，本發明并不局限于所介紹的特定實施例。相反，可以考慮用下面所述的特征和要素的任意組合來實施本發明，而無論它們是否涉及不同的實施例。因此，下面的方面、特征、實施例和優點僅作說明之用，而不應看作是權利要求的要素或限定，除非在權利要求中明確提出。

現參照圖1，其示意性地示出了根據本發明的實施例的一種MEMS傳感器標定方法。

如圖1中所示，根據本發明的實施例的該微機電結構MEMS傳感器標定方法包括以下步驟：