[發明專利]用于包含觸發電壓可調式疊接晶體管的ESD保護電路的方法

有效

• 申請號: 201710594433.8
• 申請日: 2017-07-20
• 公開（公告）號: CN107658266B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 李建興;馬哈德瓦爾·納塔拉恩;曼約納塔·普拉布
• 申請（專利權）人: 格芯(美國)集成電路科技有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L21/8238
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種制作集成電路裝置的方法，該方法包含：

提供包括相鄰第一類型井區的襯底，在該襯底上方，各對第一類型井區由第二類型井區所分開；

提供位在各第一類型井區與第二類型井區中的一或多個接面區，各接面區屬于第一類型或第二類型；

形成彼此相隔、垂直于第一類型接面區與第二類型接面區并位在其上方的鰭片；以及

通過在該第一類型井區中的該第一類型接面區和第二類型接面區與該襯底之間形成電連接來形成接面類型裝置，

其中該第一類型井區中的第一級接面類型裝置包括堆疊的該第一類型接面區與第二類型接面區，以及

其中該第一級接面類型裝置相鄰于含有該第一類型接面區與第二類型接面區的第二類型井區。

2.如權利要求1所述的方法，其中：

該第一類型井區屬于n型，并且包括p型接面區與n型接面區。

3.如權利要求1所述的方法，其中：

該第二類型井區屬于p型，并且包括p型接面區或p型接面區與n型接面區。

4.如權利要求1所述的方法，其中：

該襯底屬于p型，而該接面類型裝置包括pnp或npn類型雙極晶體管。

5.如權利要求1所述的方法，其中：

該接面類型裝置包括pn類型二極管。

6.如權利要求1所述的方法，包含：

連接該第二類型井區中的該接面區至電接地。

7.如權利要求1所述的方法，包含：

形成使該第一類型井區與第二類型井區分開的隔離溝槽區域。

8.如權利要求1所述的方法，其中：

相鄰該第一級接面類型裝置的第二類型井區包括多個第二類型接面區。

9.如權利要求1所述的方法，包含：

基于目標觸發電壓來設定該第一類型接面區與第二類型接面區之間以及諸相鄰第二類型接面區之間的間距。

10.一種集成電路裝置，包含：

包括相鄰第一類型井區的襯底，在該襯底上方，各對第一類型井區由第二類型井區所分開；

位在各第一類型井區與第二類型井區中的一或多個接面區，各接面區屬于第一類型或第二類型；

彼此相隔、垂直于第一類型接面區與第二類型接面區并位在其上方的鰭片；以及

通過在該第一類型井區中的該第一類型接面區和第二類型接面區與該襯底之間的電連接所形成的接面類型裝置，

其中該第一類型井區中的第一級接面類型裝置包括堆疊的該第一類型接面區與第二類型接面區，以及

其中該第一級接面類型裝置相鄰于含有該第一類型接面區與第二類型接面區的第二類型井區。

11.如權利要求10所述的集成電路裝置，其中：

該第一類型井區屬于n型，并且包括p型接面區與n型接面區。

12.如權利要求10所述的集成電路裝置，其中：

該第二類型井區屬于p型，并且包括p型接面區或p型接面區與n型接面區。

13.如權利要求10所述的集成電路裝置，其中：

該襯底屬于p型，而該接面類型裝置包括pnp或npn類型雙極晶體管。

14.如權利要求10所述的集成電路裝置，其中：

該接面類型裝置包括pn類型二極管。

15.如權利要求10所述的集成電路裝置，包含：

該第二類型井區中連至電接地的接面區之間的連接。

16.如權利要求10所述的集成電路裝置，其中：

相鄰該第一級接面類型裝置的第二類型井區包括多個第二類型接面區。