[發(fā)明專利]配向膜固化系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710592043.7
• 申請日: 2017-07-19
• 公開（公告）號: CN107193142A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李任鵬;米田公太郎
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G02F1/1337
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強(qiáng)

1.一種配向膜固化系統(tǒng)，用于基板上配向膜的固化，其特征在于，包括設(shè)有設(shè)數(shù)個頂針的承載臺、夾持部、預(yù)備區(qū)和預(yù)烤區(qū)；所述預(yù)備區(qū)內(nèi)設(shè)有所述承載臺和第一支撐臺，所述預(yù)烤區(qū)內(nèi)設(shè)置一預(yù)烤爐，所述預(yù)烤爐內(nèi)設(shè)有第二支撐臺，所述第一支撐臺與第二支撐臺均為氣浮式支撐，所述夾持部用于將由數(shù)個頂針支撐的基板夾持并移動到所述第一支撐臺上方通過氣浮支撐，以及用于將所述第一支撐臺上的基板移動至預(yù)烤爐內(nèi)的第二支撐臺上通過氣浮支撐。

2.如權(quán)利要求1所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述第二支撐臺上支撐基板的氣體為熱氣且均勻?qū)λ龌寮訜帷?/p>

3.如權(quán)利要求2所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述第一支撐臺與第二支撐臺的表面均設(shè)有數(shù)個均勻排列的氣孔。

4.如權(quán)利要求3所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述夾持部位于所述基板上方，包括移動支架，固定于移動支架的延伸臂和設(shè)于延伸臂的卡爪，所述移動支架帶動延伸臂移動實現(xiàn)卡爪對基板的移動。

5.如權(quán)利要求4所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述延伸臂設(shè)有氣缸，用于固定卡爪并可帶動卡爪升降。

6.如權(quán)利要求3所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述配向膜固化系統(tǒng)還包括機(jī)械手，通過機(jī)械手將基板放置于所述承載臺上。

7.如權(quán)利要求4所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述承載臺與所述第一支撐臺通過移動機(jī)構(gòu)實現(xiàn)更換位置。

8.如權(quán)利要求1所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)個頂針可伸縮的相對承載臺的表面移動。

9.如權(quán)利要求4所述的配向膜固化系統(tǒng)，其特征在于，所述配向膜固化系統(tǒng)設(shè)有支撐所述夾持部的支撐架，所述支撐架上還設(shè)置有定位卡爪的定位裝置。