[發明專利]一種水浴法沉積薄膜的熱氣及反應液循環利用的裝置及方法

有效

• 申請號: 201710590648.2
• 申請日: 2017-07-19
• 公開（公告）號: CN107299335B
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發明（設計）人: 李敏;錢喆瑜;張情情;鐘華良;朱家寬;劉杰鵬;高錦龍
• 申請（專利權）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12;H01L31/18
• 代理公司: 杭州九洲專利事務所有限公司 33101
• 代理人: 翁霽明

1.一種水浴法沉積薄膜的熱氣及反應液循環利用的裝置，包括反應槽體（1）、熱氣循環鼓風裝置（2）、抽氣單元（3）、進氣單元（4）和加熱裝置（5），其特征在于所述的反應槽體（1）包括反應槽（101）及反應槽上蓋（102）；所述熱氣循環鼓風裝置（2）位于反應槽體（1）外部，包含用于熱氣循環的熱氣循環鼓風機（201）、用于調整氣量的風門（202）、用于測量風壓的壓力表（203）、用于分氣的多管路氣排（204）；

所述抽氣單元（3）設置于反應槽體兩側上方，包括抽氣孔（301）、抽氣管（302）、抽氣風量調節閥門（303）、?耐熱風管（304）和管束（305）；所述進氣單元（4）設置于反應槽體兩側下方，包括進氣孔（401）、進氣管（402）、進氣風量調節閥門（403）、?耐熱風管（304）和管束（305）；且抽氣單元與進氣單元對應成對出現；

所述加熱裝置（5）位于反應槽正上方，以便用于均勻加熱襯底（6）和反應液（7），加熱過程中產生的熱氣包含極易揮發的氨氣，經抽氣單元的抽氣孔抽出至熱氣循環鼓風機裝置的抽氣管（302），再到熱氣循環鼓風機（201），然后經由熱氣循環鼓風機（201）到進氣單元（4）的進氣孔（401），最后返回反應槽（101）循環利用。

2.根據權利要求1所述水浴法沉積薄膜的熱氣及反應液循環利用的裝置，其特征在于所述的反應槽（101）入口處高度高于出口處高度，便于反應液由于重力作用快速回流；所述的反應槽（101）寬度比襯底（6）寬度窄，以便襯底（6）搭在反應槽（101）兩側且只有襯底正面與反應液接觸，便于實現單層鍍膜；

所述的抽氣管（302）與抽氣風量調節閥門（303）中間由耐熱風管（304）連結,?并與耐熱風管（304）的兩頭使用管束（305）固定；所述的進氣管（402）與進氣風量調節閥門（403）中間由耐熱風管（304）連結,?并與耐熱風管（304）的兩頭使用管束（305）固定；

所述的加熱裝置（5）固定于反應槽上蓋（102）且位于反應槽（101）正上方，與襯底（6）上表面距離約為10mm-500mm。

3.根據權利要求1或2所述水浴法沉積薄膜的熱氣及反應液循環利用的裝置，其特征在于所述的反應槽體（1）配置有包含有反應液混藥箱（8）、反應液抽水泵（9）的加藥系統以及用于襯底輸運的襯底輸運裝置（10）；所述抽氣孔和進氣孔數量為1-99個；所述抽氣孔和進氣孔形狀為圓形、?橢圓形、正方型、長方形孔及多邊形孔的一種；所述加熱裝置（5）為紅外線加熱板加熱器（501）、鎧裝加熱器（502）、燈管加熱器（503）的一種。

4.一種利用權利要求1或2或3所述的裝置進行水浴法沉積薄膜的熱氣及反應液循環利用的方法，其特征在于所述的方法是：將反應所需的藥劑按一定配比在反應液混藥箱（8）混勻，通過反應液抽水泵（9）將配制反應液（7）抽至反應槽（101），將反應槽上蓋（102）的加熱裝置（5）開啟，同時通過輸運裝置（10）將柔性襯底（6）傳送至反應槽（101）開始反應，加熱過程中產生的熱氣包含極易揮發的氨氣，經抽氣單元（3）的抽氣孔（301）抽出至熱氣循環鼓風機裝置的抽氣管（302），再到熱氣循環鼓風機（201），然后經由熱氣循環鼓風機（201）到進氣單元（4）的進氣孔（401），最后返回反應槽（101）循環利用。

5.根據權利要求4所述水浴法沉積薄膜的熱氣及反應液循環利用的方法，其特征在于：加熱過程中氨水產生的氨氣及熱氣由反應槽下部兩側上方的抽氣單元（3）上的抽氣孔（301）抽出，通過抽氣管（302），耐熱風管（304）以及抽氣風量調節閥門（303）再到反應槽外部的多管路氣排（204），最后再經由耐熱風管（304）接至熱氣循環鼓風機（201）201的抽氣入口，抽出來的氨氣及熱氣再由熱氣循環鼓風機（201）的熱氣吹出口吹出，經由耐熱風管（304）接至進氣單元（4）前段的多管路氣排（204），再由耐熱風管（304）接至反應槽下部兩側下方的進氣單元（4）上，最后由進氣單元（4）上面之進氣孔（401）吹出返回反應槽；

配制反應液（7）常溫時由反應液抽水泵（8）抽至反應槽（101）入口，反應液由反應槽（101）出口回流至反應液混藥箱（8）還可以繼續循環使用。