[發明專利]磨削裝置

有效

• 申請號: 201710590252.8
• 申請日: 2017-07-19
• 公開（公告）號: CN107639541B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 松原壯一
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B49/16
• 分類號: B24B49/16;H01L21/304;B24B37/34;B24B49/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供磨削裝置，即使所磨削的板狀工件的種類變更也磨削直到達到規定厚度。磨削裝置(1)具有：磨削單元(10)，其利用磨具旋轉單元(11)使磨削磨輪(15)旋轉而對板狀工件(W)進行磨削；和判斷單元(30)，其對電極(We)在被磨削面(Wa)露出的情況進行判斷，判斷單元具有：存儲部(31)，其對沒有利用磨削磨具(16)對電極進行磨削時負載電流值檢測單元(112)所檢測的負載電流值進行存儲；設定部(32)，其設定對負載電流值乘以預先設定的系數而得的值作為電極在被磨削面露出時的基準負載電流值；以及判斷部(33)，其在磨削中的負載電流值達到了基準負載電流值時判斷為電極在被磨削面露出，根據板狀工件及磨削磨輪的種類設定基準負載電流值，可靠地對板狀工件進行磨削直到電極在被磨削面露出。

技術領域

本發明涉及對板狀工件等被加工物進行磨削的磨削裝置。

背景技術

對板狀工件進行磨削的加工裝置至少具有：保持工作臺，其對板狀工件進行保持；磨削單元，其具有磨削磨輪，在該磨削磨輪上呈環狀固定安裝有磨削磨具；電動機，其使磨削磨輪進行旋轉；以及加工進給單元，其對磨削單元在相對于保持在保持工作臺上的板狀工件接近和遠離的方向上進行加工進給，加工裝置一邊利用磨削磨具對板狀工件進行按壓一邊進行磨削。

當在加工裝置中對內部具有電極的板狀工件進行磨削而使電極在被磨削面露出的情況下，當在磨削加工中磨削磨具到達電極時，使磨削磨輪旋轉的電動機的負載電流值會發生變化。因此，存在如下的磨削裝置：在加工單元中具有負載電流值檢測單元，通過該負載電流值檢測單元來始終監視磨削板狀工件時產生的負載電流值的變化并對加工進給單元進行控制而將板狀工件磨削至希望的厚度(例如，參照下述的專利文獻1和2)。

專利文獻1：日本特開2014-008538號公報

專利文獻2：日本特開2013-056392號公報

然而，在上述那樣的磨削裝置中，由于在負載電流值超過了預先設定的基準值時進行使磨削結束的控制，所以根據作為磨削對象的板狀工件的種類，有時在剛剛開始了磨削之后負載電流值便達到基準值。即，存在如下問題：當想要保持在磨削裝置中設定了對變更種類之前的板狀工件進行磨削時的基準值的狀態而對不同種類的板狀工件進行磨削時，即使是沒有達到規定的厚度的狀態，也會使板狀工件的磨削結束。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種磨削裝置，即使作為磨削對象的板狀工件的種類變更也能夠進行磨削直到達到規定的厚度。