[發明專利]柔性可彎曲玻璃電致變色器及其制備方法

在審

• 申請號: 201710590214.2
• 申請日: 2017-07-19
• 公開（公告）號: CN107357108A
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 徐從康
• 申請（專利權）人: 無錫舒瑪天科新能源技術有限公司
• 主分類號: G02F1/153
• 分類號: G02F1/153
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種柔性可彎曲玻璃電致變色器，其特征在于：在柔性可彎曲的玻璃上設置柔性GPCG多層薄膜，即GZO/PdCu/GZO薄膜，并采用葉片刮涂P3HT薄膜使得可彎曲玻璃、GPCG多層薄膜和P3HT薄膜整合成為電致變色器。

2.根據權利要求1所述的柔性可彎曲玻璃電致變色器，其特征在于：GPCG薄膜的方阻為15歐姆/方塊；透光率80％。

3.一種如權利要求1所述的柔性可彎曲玻璃電致變色器的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟1.將柔性可彎曲玻璃在真空室加熱到200℃除去表面濕氣；然后通入450/5SCCM流量Ar/O₂在600W直流電壓下進行表面等離子預處理清洗；

步驟2.在直流功率1.8kW,Ar/O₂流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/min用鎵摻雜氧化鋅GZO旋轉靶材在柔性玻璃上沉積厚度45nm的薄膜；

步驟3.在直流功率0.1到0.4kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉積Pd薄膜；

步驟4.在直流功率0.1到0.4kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉積Cu薄膜；

步驟5.重復步驟(2)，在Cu薄膜表面沉積與步驟2同樣厚度的GZO薄膜，形成GZO/PdCu/GZO結構薄膜；

步驟6.進行結構表征，用Hall測量儀，UV-Vis光譜儀，XRD衍射儀，彎曲測量儀，四探針電阻測量儀等對GZO/PdCu/GZO的方阻，透光率，結構和柔性等進行測量；

步驟7.用去離子水清洗干凈GZO/PdCu/GZO薄膜，在其表面葉片刮涂P3HT電致變色層，然后覆蓋相應的GZO/PdCu/GZO/柔性玻璃制備成電致變色器；

步驟8.測量所制備的電致變色器。

4.根據權利要求3所述的柔性可彎曲玻璃電致變色器的制備方法，其特征在于：所述步驟3中，在直流功率0.1kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉積Pd薄膜；同時，步驟4中，在直流功率0.1kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉積Cu薄膜。

5.根據權利要求3所述的柔性可彎曲玻璃電致變色器的制備方法，其特征在于：所述步驟3中，在直流功率0.2kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉積Pd薄膜；同時，步驟4中，在直流功率0.2kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉積Cu薄膜。

6.根據權利要求3所述的柔性可彎曲玻璃電致變色器的制備方法，其特征在于：所述步驟3中，在直流功率0.3kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉積Pd薄膜；同時，在步驟4中，在直流功率0.3kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉積Cu薄膜。

7.根據權利要求3所述的柔性可彎曲玻璃電致變色器的制備方法，其特征在于：所述步驟3中，在直流功率0.4kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Pd平面靶材在柔性玻璃GZO薄膜上沉積Pd薄膜；同時，在步驟4中，在直流功率0.4kW,Ar流量300SCCM，工作壓力2mTorr；柔性玻璃卷繞速度1m/mi,用Cu平面靶材在柔性玻璃Pd薄膜上沉積Cu薄膜。