[發明專利]移動體裝置、曝光裝置、元件制造方法、平板顯示器的制造方法、及物體交換方法

有效

• 申請號: 201710586312.9
• 申請日: 2011-09-12
• 公開（公告）號: CN107450280B
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種移動體裝置，其具備：

移動體，可保持物體的端部，與該物體一起至少在與水平面平行的既定二維平面內的既定范圍移動；

物體支承裝置，具有可在包含0度的至少兩階段變更其一面相對前述二維平面的傾斜角度的第1構件，并且從下方非接觸地支承在前述既定范圍內，與前述移動體一起移動的前述物體；

第1支承裝置，具有一面，可從下方非接觸地支承前述物體，該一面與處于相對前述二維平面成第1角度的第1狀態的前述第1構件的前述一面一起形成相對前述二維平面成前述第1角度的第1移動面；

第2支承裝置，具有一面，可從下方非接觸地支承前述物體，該一面與處于相對前述二維平面成第2角度的第2狀態的前述第1構件的前述一面一起形成相對前述二維平面成前述第2角度的第2移動面；以及

搬送系統，包含使前述物體沿前述第1移動面移動的第1搬送系統與使前述物體沿前述第2移動面移動的第2搬送系統；

藉由前述第1及第2搬送系統的一方將前述物體從前述物體支承裝置上搬出，且藉由前述第1及第2搬送系統的另一方將其他物體搬入前述物體支承裝置上，

前述移動體，在保持被前述物體支承裝置非接觸地支承的前述其他物體的端部的狀態下，可相對前述物體支承裝置相對移動。

2.如權利要求1所述的移動體裝置，其中，前述第1角度為0度，且在前述第1狀態下，前述第1構件的前述一面與前述二維平面平行。

3.如權利要求2所述的移動體裝置，其中，前述移動體能在前述第1構件上的區域與前述第1支承裝置上的區域之間移動；并且

前述第1搬送系統使用前述移動體將前述物體從前述第1構件上搬出至前述第1支承裝置上或從前述第1支承裝置上搬入前述第1構件上。

4.如權利要求2或3所述的移動體裝置，其中，前述移動體包含沿前述物體的外周緣部的至少一部分配置的本體部與支承前述物體的支承部。

5.如權利要求4所述的移動體裝置，其中，于前述本體部，形成有當前述第1構件的前述一面設定于前述第1狀態時容許前述物體沿前述二維平面的方向而通過的開口部。

6.如權利要求4所述的移動體裝置，其中，前述支承部，能在支承前述物體的支承位置與從該支承位置退離的退離位置之間移動。

7.如權利要求1所述的移動體裝置，其中，前述第1角度及前述第2角度為0度以外的角度。

8.如權利要求7所述的移動體裝置，其中，前述物體從前述物體支承裝置上的搬出及前述其他物體往前述物體支承裝置上的搬入的各動作從沿前述第1或第2移動面的斜上方往斜下方進行。

9.如權利要求7或8所述的移動體裝置，其中，前述移動體包含沿前述物體的外周緣部的至少一部分配置的本體部與支承前述物體的支承部。

10.如權利要求9所述的移動體裝置，其中，前述物體從斜上方或斜下方插入前述本體部內并同時搬入前述物體支承裝置上，且從前述物體支承裝置上的前述本體部內往斜上方或斜下方搬出。

11.如權利要求9所述的移動體裝置，其中，前述支承部，能在支承前述物體的支承位置與從該支承位置退離的退離位置之間移動。

12.如權利要求1或2所述的移動體裝置，其中，前述第1搬送系統使用在前述第1構件上的區域與前述第1支承裝置上的區域之間驅動前述物體的第1驅動裝置進行前述物體的搬出或前述其他物體的搬入；且

前述第2搬送系統使用在前述第1構件上的區域與前述第2支承裝置上的區域之間驅動前述物體的第2驅動裝置進行前述物體的搬出或前述其他物體的搬入。

13.如權利要求1或2所述的移動體裝置，其中，與前述第1及前述第2搬送系統的一方對前述物體的搬出動作并行地，開始前述第1及前述第2搬送系統的另一方對前述其他物體的搬入動作。