[發明專利]一種傳感器測試系統

在審

• 申請號: 201710586036.6
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN107219337A
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 趙一英;楊青;曹偉;袁登鵬
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院材料研究所
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 徐彥圣

1.一種傳感器測試系統，其特征在于，包括測試平臺、光源、測試腔體、儲氣裝置、配氣裝置和光學分析裝置；

所述光源、測試腔體和所述光學分析裝置分別設置于所述測試平臺，待檢測氣體傳感器設置于所述測試腔體內，所述待檢測氣體傳感器連接于所述光源與所述光學分析裝置之間，所述測試腔體與所述配氣裝置連通，所述儲氣裝置為多個，各所述儲氣裝置分別與所述配氣裝置連通；

所述配氣裝置根據預設配氣標準獲取各所述儲氣裝置中的氣體并配置均勻后輸送至所述測試腔體，在所述光源向所述待檢測氣體傳感器傳輸光時，所述光學分析裝置每間隔預設時長獲取所述光源發出的光通過所述待檢測氣體傳感器前后的數據，進而獲得待檢測氣體傳感器不同時刻的檢測結果，將所述檢測結果與預存性能數據指標進行匹配得到所述待檢測氣體傳感器的測試精度和響應速度的性能。

2.根據權利要求1所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述傳感器測試系統還包括溫度控制裝置和濕度控制裝置，所述溫度控制裝置設置于所述測試腔體內并檢測和/或調整所述測試腔體內的溫度，所述濕度控制裝置設置于所述測試腔體內并檢測和/或調整所述測試腔體內的濕度。

3.根據權利要求1所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述待檢測氣體傳感器包括感應部，所述傳感器測試系統還包括電信號檢測裝置，所述電信號檢測裝置連接于所述感應部的兩端，所述電信號檢測裝置用于檢測所述感應部兩端的電信號，分析得到所述待檢測氣體傳感器的電性能。

4.根據權利要求3所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述電信號檢測裝置的兩端分別連接分別通過探針與所述感應部的兩端連接，所述傳感器測試系統還包括探針位移調節裝置，所述探針位移調節裝置為兩個，其中一個所述探針位移調節裝置設置于所述感應部的一端與所述電信號檢測裝置之間，另一個所述探針設置于所述感應部的另一端與所述信號檢測裝置之間。

5.根據權利要求1所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述傳感器測試系統還包括光纖連接器，所述光纖連接器連接于所述光源與所述待檢測氣體傳感器之間和/或所述光學分析裝置與所述待檢測氣體傳感器之間，所述光纖連接器包括單模通信光纖、多模通信光纖和/或裸露光纖。

6.根據權利要求5所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述光纖連接器包括第一光纖連接器和第二光纖連接器，所述第一光纖連接器連接于所述光源與所述待檢測氣體傳感器之間，所述第二光纖連接器連接于所述光學分析裝置與所述待檢測氣體傳感器之間。

7.根據權利要求1所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述傳感器測試系統還包括控制氣體輸送速率的氣體流量控制裝置，所述氣體流量控制裝置連接于所述配氣裝置與所述測試腔體之間。

8.根據權利要求1所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述光源為激光光源，多個儲氣裝置中包括存儲有氮氣的儲氣裝置，所述測試腔體與存儲有氮氣的儲氣裝置連通。

9.根據權利要求1所述的傳感器測試系統，其特征在于，所述傳感器測試系統還包括抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述測試腔體連通。

10.一種傳感器測試系統，其特征在于，包括測試平臺、光源、測試腔體、儲氣裝置、配氣裝置、光學分析裝置、探針位移調節裝置和電信號檢測裝置；

所述光源、測試腔體、所述光學分析裝置和電信號檢測裝置分別設置于所述測試平臺，待檢測氣體傳感器設置于所述測試腔體內，所述待檢測氣體傳感器連接于所述光源與所述光學分析裝置之間，所述測試腔體與所述配氣裝置連通，所述儲氣裝置為多個，各所述儲氣裝置分別與所述配氣裝置連通，所述電信號檢測裝置的兩端分別連接分別通過探針與所述待檢測氣體傳感器的兩端連接；

所述配氣裝置根據預設配氣標準獲取各所述儲氣裝置中的氣體并配置均勻后輸送至所述測試腔體，在所述光源向所述待檢測氣體傳感器傳輸光時，所述光學分析裝置每間隔預設時長獲取所述光源發出的光通過所述待檢測氣體傳感器前后的數據，進而獲得待檢測氣體傳感器不同時刻的檢測結果，所述電信號檢測裝置每間隔預設時長檢測所述待檢測氣體傳感器的電信號，將所述檢測結果和電信號與預存性能數據指標進行匹配得到所述待檢測氣體傳感器的測試精度和響應速度的性能。