[發明專利]具有位置調節功能的嵌套式支承結構及其用途

有效

• 申請號: 201710585905.3
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN107329376B
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 齊威;齊月靜;王宇;盧增雄;楊光華;李兵;劉斌;郭馨
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 郎志濤

1.一種具有位置調節功能的嵌套式支承結構，其特征在于，所述嵌套式支承結構包括：

用于對待支承件提供支承作用的內支承架，所述內支承架設置有沿橫向X方向和縱向Y方向凸出的多個突出部；

用于支承并調節所述內支承架的外支承架，所述外支承架由沿所述橫向X方向延伸的兩個相對布置的橫向延伸部和沿所述縱向Y方向延伸的兩個相對布置的縱向延伸部構成，使得所述外支承架成型為沿著所述內支承架的四周圍繞所述內支承架，并且所述外支承架設置有分別與所述內支承架的所述突出部相對應的開口，使得所述內支承架的所述突出部能夠嵌入所述外支承架的所述開口中，從而使所述外支承架以嵌套的形式支承所述內支承架；

其中，所述外支承架在所述開口處分別設置有位置調節件，所述位置調節件能夠沿橫向X方向、縱向Y方向和豎向Z方向作用于所述內支承架的相應突出部，從而調節所述內支承架的六自由度。

2.根據權利要求1所述的具有位置調節功能的嵌套式支承結構，其特征在于，所述多個突出部關于所述內支承架的橫向中軸線對稱地分布并且關于所述內支承架的縱向中軸線對稱地分布。

3.根據權利要求1所述的具有位置調節功能的嵌套式支承結構，其特征在于，所述內支承架設置有三組突出部，其中，每組突出部包括在水平XY平面上呈矩形分布的四個突出部，所述外支承架相應地設置有接納所述三組突出部的三組開口，并且在每組開口處設置有能夠關于橫向X方向、縱向Y方向和豎向Z方向中的一個方向調節所述內支承件的位置調節件，從而共同實現沿橫向X方向、縱向Y方向和豎向Z方向調節所述內支承架。

4.根據權利要求1所述的具有位置調節功能的嵌套式支承結構，其特征在于，所述橫向延伸部和/或所述縱向延伸部是由外豎板、與所述外豎板相對布置的內豎板、分別與所述外豎板以及所述內豎板的上端連接的上橫板、和分別與所述外豎板以及所述內豎板的下端連接的下橫板形成的中空結構，使得位于所述橫向延伸部和/或所述縱向延伸部的開口包括在所述外豎板中形成的外側口和在所述內豎板中形成的與所述外側口對稱地布置的內側口。

5.根據權利要求4所述的具有位置調節功能的嵌套式支承結構，其特征在于，所述位置調節件包括能夠沿所述豎向Z方向調節所述內支承架的貫穿相應突出部的豎向調節螺柱和螺紋連接于所述豎向調節螺柱的豎向調節螺母、和沿所述縱向Y方向和所述橫向X方向調節所述內支承架的水平調節螺柱和固定于所述下橫板上的調節塊，所述水平調節螺栓通過螺紋連接貫穿所述調節塊并沿所述縱向Y方向或所述橫向X方向作用于相應的突出部。

6.根據權利要求1至5中的任一項所述的具有位置調節功能的嵌套式支承結構，其特征在于，所述內支承架是用于支承電控位移臺的中空結構，在所述內支承架的下方布置有測量平板，所述測量平板設置有位置傳感器，用于感測所述電控位移臺的位置。

7.根據權利要求1至6中的任一項所述的具有位置調節功能的嵌套式支承結構用于對元器件安裝基準面進行調節的用途。