[發明專利]一種采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器有效
| 申請號： | 201710585485.9 | 申請日： | 2017-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN107393888B | 公開（公告）日： | 2019-11-12 |
| 發明（設計）人： | 劉向雷;沈加東;宣益民 | 申請（專利權）人： | 南京航空航天大學 |
| 主分類號： | H01L23/367 | 分類號： | H01L23/367;H01L23/373 |
| 代理公司： | 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吳旭 |
| 地址： | 210016 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 采用 平板 光柵 組合 高效 接觸 整流器 | ||
1.一種采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：包括一平板和一光柵，平板和光柵平行間隔，間隔為真空；所述光柵包括一基底，該基底的一表面形成有多個凸棱，多個凸棱相互平行間隔，相鄰的兩個凸棱之間形成一凹槽，每個凹槽的深度與平板的厚度相等，每個凹槽和一相鄰凸棱的總寬度與平板和光柵的間距相等。
2.根據權利要求1所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述平板材料采用本征硅；所述光柵材料采用摻雜硅，摻雜類型為N型摻雜，摻雜濃度為1×1018cm-3。
3.根據權利要求2所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述平板厚度為3μm～1cm。
4.根據權利要求3所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述平板厚度為6μm。
5.根據權利要求2所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述光柵上凸棱寬度與凸棱和一相鄰凹槽總寬度的比值為0.3～0.7。
6.根據權利要求5所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述光柵上凸棱寬度與凸棱和一相鄰凹槽總寬度的比值為0.5。
7.根據權利要求2所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述平板和光柵的間距為10～15nm。
8.根據權利要求7所述的采用平板光柵組合的高效非接觸式熱整流器，其特征在于：所述平板和光柵的間距為10nm。
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