[發(fā)明專利]一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201710584582.6
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN107160033A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邵華江
• 申請（專利權(quán)）人: 上海嘉強自動化技術(shù)有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/382
• 代理公司: 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11638
• 代理人: 李海燕

1.一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：包括一次擴束組件、二次擴束組件以及反射打孔組件；

所述一次擴束組件包括負(fù)焦擴束鏡(2)、正焦擴束鏡(3)，負(fù)焦擴束鏡(2)傾斜設(shè)置，并與激光器輸出的傾斜光束(1)同軸；正焦擴束鏡(3)設(shè)在負(fù)焦擴束鏡(2)透射光側(cè)的下方、并與負(fù)焦擴束鏡(2)的透射光光軸同軸設(shè)置；

所述二次擴束組件包括聚焦鏡(4)、棱鏡(5)、兩片后擴束鏡(6)；所述聚焦鏡(4)同軸設(shè)在正焦擴束鏡(3)的透射光側(cè)下方，所述棱鏡(5)縱向設(shè)置，棱鏡(5)上周向分布有分光棱面，棱鏡(5)通過電機帶動轉(zhuǎn)動；所述聚焦鏡(4)的焦點位于棱鏡(5)的分光棱面上；所述兩片后擴束鏡(6)對稱設(shè)在多面棱鏡(5)的上方，且兩片后擴束鏡(6)的中心軸交點位于多面棱鏡(5)分光棱面上；

所述反射打孔組件為對稱結(jié)構(gòu)，包括四片反射鏡(7)、振鏡(8)以及f-θ鏡(10)；所述四片反射鏡(7)呈兩組對稱設(shè)置，其中一組的兩片反射鏡(7)分別與兩片后擴束鏡(6)的透射光束呈45度傾斜設(shè)置；

每組一側(cè)的反射鏡(7)的反射光側(cè)均設(shè)有振鏡(8)，振鏡(8)中心軸與對應(yīng)反射鏡(7)反射光軸呈45度設(shè)置，振鏡(8)的下方設(shè)有所述的f-θ鏡(10)，f-θ鏡(10)水平設(shè)置、并聚焦振鏡(8)的反射掃描光束。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述負(fù)焦擴束鏡(2)、正焦擴束鏡(3)、聚焦鏡(4)、棱鏡(5)、后擴束鏡(6)、反射鏡(7)以及f-θ鏡(10)均為圓柱狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述棱鏡(5)為正多邊形柱狀，驅(qū)動棱鏡(5)旋轉(zhuǎn)的電機軸配合設(shè)在氣浮軸承上，伸出氣浮軸承的電機軸與棱鏡(5)固接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述振鏡(8)的掃描頻率為150-250Hz，棱鏡(5)的轉(zhuǎn)速大于轉(zhuǎn)速60000r/min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述棱鏡(5)為輕質(zhì)鋁合金。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述振鏡(8)的電機軸(9)垂直于對應(yīng)反射鏡(7)的反射光軸。