[發明專利]類金剛石薄膜有效
| 申請號： | 201710582567.8 | 申請日： | 2017-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN107287571B | 公開（公告）日： | 2019-11-12 |
| 發明（設計）人： | 田夢軍 | 申請（專利權）人： | 維達力實業（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/06;C23C16/26;C23C28/04 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 向薇 |
| 地址： | 518129 廣東省深圳市龍崗區坂田街*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金剛石 薄膜 | ||
1.一種類金剛石薄膜，其特征在于，包括：
沉積于基材之上的金屬打底層；
沉積于所述金屬打底層之上的金屬碳化物過渡層；
沉積于所述金屬碳化物過渡層之上的第一類金剛石層，該第一類金剛石層為含氫類金剛石層，所述第一類金剛石層的厚度為1～6μm；
沉積于所述第一類金剛石層之上的第二類金剛石層，該第二類金剛石層為含氫類金剛石層，所述第二類金剛石層的厚度為0.05～0.5μm，其折射率小于第一類金剛石層，所述第一類金剛石層的折射率介于1.9～2.5之間，所述第二類金剛石層的折射率介于1.7～2.2之間；
所述金屬碳化物過渡層中C含量為2％～50％，且由所述金屬打底層向所述第一類金剛石層方向逐漸遞增。
2.根據權利要求1所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述金屬打底層的厚度為0.3μm、0.4μm或2μm。
3.根據權利要求1所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述第一類金剛石層的折射率為2.5，所述第一類金剛石層的厚度為1.8μm，所述第二類金剛石層的折射率為2.2，所述第二類金剛石層的厚度為0.07μm。
4.根據權利要求1所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述第一類金剛石層的折射率為2.3，所述第一類金剛石層的厚度為2μm，所述第二類金剛石層的折射率為2.0，所述第二類金剛石層的厚度為0.09μm。
5.根據權利要求1所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述金屬打底層的厚度為0.1～2μm，所述金屬碳化物過渡層的厚度為0.1～3μm。
6.根據權利要求1-5任一項所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述金屬碳化物過渡層中的金屬為Cr、Ti、W、Zr中的一種或多種。
7.根據權利要求6所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述金屬碳化物過渡層中的金屬為Cr、W中的一種或多種。
8.根據權利要求1-5任一項所述的類金剛石薄膜，其特征在于，所述金屬打底層的材料為Cr或Ti。
9.根據權利要求1-5任一項所述的類金剛石薄膜，其特征在于，其顏色范圍為：L值介于36～43之間可調，a值介于+1.5～-2之間可調，b值介于+6～-4之間可調。
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