[發明專利]一種高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法在審
| 申請號: | 201710581797.2 | 申請日: | 2017-07-17 |
| 公開(公告)號: | CN107393821A | 公開(公告)日: | 2017-11-24 |
| 發明(設計)人: | 古進;楊波;蔡美晨;龔昌明;張翼 | 申請(專利權)人: | 中國振華集團永光電子有限公司(國營第八七三廠) |
| 主分類號: | H01L21/329 | 分類號: | H01L21/329;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/56 |
| 代理公司: | 貴陽派騰陽光知識產權代理事務所(普通合伙)52110 | 代理人: | 谷慶紅 |
| 地址: | 550018 貴州省*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 可靠 玻璃 鈍化 微型 二極管 制造 方法 | ||
1.一種高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,包括管芯的制備、電極焊接、處理封裝,其具體工藝方法為:
a、管芯制備:
a-1、通過深度擴散的在單晶硅片上形成PN結,通過電子束蒸發在PN結的P面和N面制備金屬薄膜層;
a-2、通過吹砂切割將鍍有金屬薄膜層的單晶硅片吹砂成型;
a-3、采用清洗劑對切割好的管芯進行腐蝕清洗,腐蝕完成后的管芯用丙酮進行超聲波清洗,再用酒精進行超聲波清洗,然后脫水、烘干;
b、電極焊接:通過高溫真空燒結將電極與金屬引線燒焊成一個整體的電極引線,再電極引線、管芯、電極引線依次豎直疊放到石墨模具中,再將石墨模具放入真空燒結爐中將電極引線和管芯進行600℃~800℃的高溫熔焊鍵合。
c、處理封裝:
c-1、使用酸腐蝕液對燒焊后的二極管進行酸腐蝕30~120s;
c-2、將酸腐蝕后的二極管放入堿腐蝕液中腐蝕清洗60~180s;
c-3、使用冷、熱去離子水交替沖洗10次;
c-4、使用玻璃粉漿在二極管表面均勻涂覆形成均勻的球體,然后低溫成型2~3h;
c-5、在引線上裝上焊料和電極片后使用300~400℃溫度燒結;
c-6、多余引線切除。
2.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:金屬薄膜層的材料為鋁。
3.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述酸腐蝕液按質量百分比是分析純的65%~68%的硝酸、≥40%的氫氟酸、95%~98%的硫酸、≥99.5%的冰乙酸、≥99.5%的磷酸按體積比1.2:1:1:2:2的混合溶液。
4.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述堿腐蝕液為3%~6%的氫氧化鉀溶液,其堿腐蝕溫度為58~98℃。
5.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述鈍化液按質量百分比是≥30%的雙氧水、≥85%的磷酸和離子水按2:2:5混合的混合液。
6.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述玻璃粉的主要含量為二氧化硅、氧化鋅、三氧化二硼。
7.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述低溫成型的升溫速率10~15℃/min,升溫時間45~65min,燒結溫度600~680℃,恒溫時間5~40min,降溫速率≤5℃/min。
8.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述清洗劑按質量百分比是65%~68%的硝酸、≥40%的氫氟酸、95%~98%的硫酸、≥99.5%的冰乙酸按體積比8:2:2:5的混合溶液。
9.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法,其特征在于:所述焊料為鋁。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





