[發明專利]一種高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法

在審

• 申請號: 201710581797.2
• 申請日: 2017-07-17
• 公開（公告）號: CN107393821A
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 古進;楊波;蔡美晨;龔昌明;張翼
• 申請（專利權）人: 中國振華集團永光電子有限公司（國營第八七三廠）
• 主分類號: H01L21/329
• 分類號: H01L21/329;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/56
• 代理公司: 貴陽派騰陽光知識產權代理事務所(普通合伙)52110
• 代理人: 谷慶紅

1.一種高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，包括管芯的制備、電極焊接、處理封裝，其具體工藝方法為：

a、管芯制備：

a-1、通過深度擴散的在單晶硅片上形成PN結，通過電子束蒸發在PN結的P面和N面制備金屬薄膜層；

a-2、通過吹砂切割將鍍有金屬薄膜層的單晶硅片吹砂成型；

a-3、采用清洗劑對切割好的管芯進行腐蝕清洗，腐蝕完成后的管芯用丙酮進行超聲波清洗，再用酒精進行超聲波清洗，然后脫水、烘干；

b、電極焊接：通過高溫真空燒結將電極與金屬引線燒焊成一個整體的電極引線，再電極引線、管芯、電極引線依次豎直疊放到石墨模具中，再將石墨模具放入真空燒結爐中將電極引線和管芯進行600℃～800℃的高溫熔焊鍵合。

c、處理封裝：

c-1、使用酸腐蝕液對燒焊后的二極管進行酸腐蝕30～120s；

c-2、將酸腐蝕后的二極管放入堿腐蝕液中腐蝕清洗60～180s；

c-3、使用冷、熱去離子水交替沖洗10次；

c-4、使用玻璃粉漿在二極管表面均勻涂覆形成均勻的球體，然后低溫成型2～3h；

c-5、在引線上裝上焊料和電極片后使用300～400℃溫度燒結；

c-6、多余引線切除。

2.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：金屬薄膜層的材料為鋁。

3.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述酸腐蝕液按質量百分比是分析純的65％～68％的硝酸、≥40％的氫氟酸、95％～98％的硫酸、≥99.5％的冰乙酸、≥99.5％的磷酸按體積比1.2：1：1：2：2的混合溶液。

4.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述堿腐蝕液為3％～6％的氫氧化鉀溶液，其堿腐蝕溫度為58～98℃。

5.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述鈍化液按質量百分比是≥30％的雙氧水、≥85％的磷酸和離子水按2:2:5混合的混合液。

6.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述玻璃粉的主要含量為二氧化硅、氧化鋅、三氧化二硼。

7.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述低溫成型的升溫速率10～15℃/min，升溫時間45～65min，燒結溫度600～680℃，恒溫時間5～40min，降溫速率≤5℃/min。

8.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述清洗劑按質量百分比是65％～68％的硝酸、≥40％的氫氟酸、95％～98％的硫酸、≥99.5％的冰乙酸按體積比8:2:2:5的混合溶液。

9.如權利要求1所述的高可靠玻璃鈍化微型表貼二極管的制造方法，其特征在于：所述焊料為鋁。