[發明專利]一種微機械慣性傳感器抗溫漂結構

有效

• 申請號: 201710580683.6
• 申請日: 2017-07-17
• 公開（公告）號: CN107144275B
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 雷龍海;周駿;王龍峰;王志;山永啟
• 申請（專利權）人: 四川知微傳感技術有限公司
• 主分類號: G01C21/16
• 分類號: G01C21/16
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 郭受剛

1.一種微機械慣性傳感器抗溫漂結構，應用于微機械慣性傳感器中，其特征在于，所述抗溫漂結構包括：

三個緊固直梁和一個環形彈性連接結構，其中，三個緊固直梁的一端分別與微機械慣性傳感器中的錨點連接，三個緊固直梁的另一端均與環形彈性連接結構連接，微機械慣性傳感器中的雙端固支梁一端與環形彈性連接結構連接，雙端固支梁另一端與微機械慣性傳感器中的敏感質量塊連接；緊固直梁和雙端固支梁均勻分布在環形彈性連接結構四周，均勻分布在環形彈性連接結構的緊固直梁剛度遠遠大于雙端固支梁剛度。

2.根據權利要求1所述的微機械慣性傳感器抗溫漂結構，其特征在于，三個緊固直梁尺寸一致。

3.根據權利要求1所述的微機械慣性傳感器抗溫漂結構，其特征在于，錨點通過氧化層固定在基片上。

4.根據權利要求3所述的微機械慣性傳感器抗溫漂結構，其特征在于，基片材料為摻雜多晶硅或者玻璃。

5.根據權利要求1所述的微機械慣性傳感器抗溫漂結構，其特征在于，所述環形彈性連接結構與雙端固支梁不發生剛度耦合。

6.根據權利要求1所述的微機械慣性傳感器抗溫漂結構，其特征在于，微機械慣性傳感器中四周分布有多個抗溫漂結構，多個抗溫漂結構分別位于微機械慣性傳感器的四周呈中心對稱分布。