[發(fā)明專利]靶材濺射面加工的刀具以及加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710580563.6
• 申請(qǐng)日: 2017-07-17
• 公開（公告）號(hào): CN109261998B
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學(xué)澤;羅明浩;錢百峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B23B27/00
• 分類號(hào): B23B27/00;B23B29/02;B23B29/03
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

一種靶材濺射面加工的刀具以及加工方法，所述刀具包括：刀桿，具有相對(duì)設(shè)置的第一面和第二面；位于所述第一面上的刀頭，固定于所述刀桿沿延伸方向的一端，所述刀頭包括：固定座，與所述刀桿固定相連；刀片，與所述固定座相連，且所述刀片的刃口凸出于所述固定座表面。所述刀具在對(duì)待加工面進(jìn)行加工時(shí)，僅能夠在所述待加工面上形成一條連續(xù)的紋路，并且所形成紋路并不會(huì)出現(xiàn)交叉，所以連續(xù)且不交叉紋路的形成，能夠有效提高所形成靶材濺射紋理的均勻性，有利于提高所形成靶材濺射面紋理的質(zhì)量，改善靶材濺射面的粗糙度，使所形成產(chǎn)品達(dá)到質(zhì)量要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及靶材加工領(lǐng)域，特別涉及一種靶材濺射面加工的刀具以及加工方法。

背景技術(shù)

磁控濺射是一種利用帶電粒子轟擊靶材，使靶材原子從表面溢出并均勻沉積在基片上的鍍膜工藝。磁控濺射具有濺射率高、基片溫度低、基片與膜層之間結(jié)合力好和優(yōu)異的膜層均勻性等優(yōu)勢(shì)。磁控濺射技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于集成電路、信息存儲(chǔ)設(shè)備、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等電子以及信息產(chǎn)業(yè)的制造過程中。

隨著電子產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，如集成電路制造過程中，芯片基片尺寸不斷提高，而電子器件尺寸不斷減小，集成電路電子器件集成度隨之提高，制造技術(shù)對(duì)磁控濺射技術(shù)的工藝要求越來越嚴(yán)格。

磁控濺射過程中所使用靶材的質(zhì)量是影響磁控濺射鍍膜質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。所以對(duì)于濺射靶材的質(zhì)量要求高于傳統(tǒng)材料行業(yè)的質(zhì)量要求。濺射靶材的一般質(zhì)量要求主要包括對(duì)于尺寸、平整度、純度、成分含量、密度，晶粒尺寸與缺陷控制等方面的要求；此外，在面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成分與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等方面，濺射靶材具有更高的質(zhì)量要求或者特殊的質(zhì)量要求。而且隨著技術(shù)的發(fā)展，靶材濺射面不再僅僅是平面結(jié)構(gòu)的，還發(fā)展出了濺射面上具有紋理的靶材。

但是現(xiàn)有技術(shù)在靶材濺射面上所形成紋理的質(zhì)量較差，難以滿足產(chǎn)品的質(zhì)量要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種靶材濺射面加工的刀具以及加工方法，以提高靶材濺射面上所形成紋理的紋路質(zhì)量。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種靶材濺射面加工的刀具，包括：

刀桿，具有相對(duì)設(shè)置的第一面和第二面；位于所述第一面上的刀頭，固定于所述刀桿沿延伸方向的一端，所述刀頭包括：固定座，與所述刀桿固定相連；刀片，與所述固定座相連，且所述刀片的切削刃凸出于所述固定座表面。

可選的，所述刀頭的數(shù)量為1個(gè)。

可選的，所述刀桿的材料為45#鋼。

可選的，所述刀桿經(jīng)淬火處理。

可選的，所述刀桿的硬度在255HB以上。

可選的，所述刀具還包括：位于所述第一面內(nèi)的第一固定槽，設(shè)置于所述刀桿沿延伸方向的一端；所述刀頭固定于所述第一固定槽內(nèi)且至少所述刀片的切削刃凸出于所述第一面。

可選的，所述刀頭為鏜刀刀頭。

可選的，所述固定座包括：用于與所述刀桿固定相連的固定部；凸起于所述固定部表面的操作部，沿垂直所述刀桿延伸方向，所述操作部設(shè)置于所述固定部靠近所述刀桿中心的一側(cè)；所述刀片與所述操作部相連。

可選的，沿所述刀桿延伸方向，所述刀片位于所述固定座的操作部遠(yuǎn)離所述刀桿中心的一端。

可選的，所述刀桿上具有多個(gè)第一固定孔，沿垂直所述第一面指的方向，所述第一固定孔至少貫穿所述刀桿的部分厚度；所述固定座的固定部上具有多個(gè)第一連接孔，所述第一連接孔貫穿所述固定部；所述刀頭還包括：多個(gè)第一連接件，位于所述第一連接孔和所述第一固定孔內(nèi)，用于連接所述第一固定孔和所述第一連接孔。

可選的，所述第一固定孔為螺孔，所述第一連接件為螺栓。