[發(fā)明專(zhuān)利]濺射靶材回收方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710580344.8
• 申請(qǐng)日: 2017-07-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109266854A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳景暉;姚力軍;徐超
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 寧波創(chuàng)潤(rùn)新材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C22B7/00
• 分類(lèi)號(hào): C22B7/00;C22B34/12;C22B34/24
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

1.一種濺射靶材回收方法，其特征在于，包括：

提供靶材組件，所述靶材組件包括背板和與所述背板連接的靶材；

采用化學(xué)反應(yīng)分離方法分離所述背板和靶材。

2.如權(quán)利要求1所述的濺射靶材回收方法，其特征在于：所述化學(xué)反應(yīng)分離方法包括：提供堿溶液，將所述靶材組件浸泡至所述堿溶液中，待所述背板溶解后取出所述靶材。

3.如權(quán)利要求2所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述堿溶液為氫氧化鈉溶液、氫氧化鉀溶液、氫氧化鋇溶液或氫氧化銫溶液。

4.如權(quán)利要求2所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述堿溶液的濃度為5％～30％。

5.如權(quán)利要求2所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，還包括：提供酸溶液，取出所述靶材后，用純水沖洗所述靶材，然后將所述靶材用所述酸溶液浸泡。

6.如權(quán)利要求5所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述酸溶液為鹽酸、硫酸、硝酸、氫溴酸或氫碘酸。

7.如權(quán)利要求5所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述酸溶液的濃度為5％～20％。

8.如權(quán)利要求5所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，還包括：提供強(qiáng)氧化劑，在所述酸溶液中加入所述強(qiáng)氧化劑。

9.如權(quán)利要求8所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述強(qiáng)氧化劑為過(guò)氧化氫。

10.如權(quán)利要求1至9任一所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述靶材為鈦靶或鉭靶。

11.如權(quán)利要求1至9任一所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述背板為兩性金屬。

12.如權(quán)利要求11所述的濺射靶材回收方法，其特征在于，所述背板為鋁背板、鎵背板、鋅背板、鍺背板、銦背板、錫背板或鉛背板。