[發(fā)明專利]聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂、正性光刻膠組合物和負性光刻膠組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710578532.7
• 申請日: 2017-07-17
• 公開（公告）號: CN107324978B
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳金平;李嫕;于天君;曾毅
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所
• 主分類號: C07C43/225
• 分類號: C07C43/225;C07C43/21;C07C39/17;C07C271/12;C07C69/712;C07D309/12;G03F7/039;G03F7/038
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 趙曉丹

1.一種聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，具有如下式(I)或式(II)所示的分子結(jié)構(gòu)：

其中，式(I)中取代基R_a1～R_a20、式(II)中取代基R_b1～R_b15各自獨立地表示氫原子、羥基、甲氧基或酸敏感性取代基，式(I)中的取代基R_a1～R_a20相同或不同，式(II)中的取代基R_b1～R_b15相同或不同，同一苯環(huán)上的多個取代基不能同時為氫原子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述酸敏感性取代基為烷烴類碳酸酯取代基、烷烴類α-醋酸酯取代基或環(huán)狀縮醛取代基。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述烷烴類碳酸酯取代基結(jié)構(gòu)為：其中C_n表示碳原子數(shù)不大于12的烷基，表示取代基與主體結(jié)構(gòu)中苯環(huán)的連接鍵。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述烷烴類α-醋酸酯取代基的結(jié)構(gòu)為其中C_n表示碳原子數(shù)不大于12的烷基，表示取代基與主體結(jié)構(gòu)中苯環(huán)的連接鍵。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述環(huán)狀縮醛取代基的結(jié)構(gòu)為其中m為1至4的任一整數(shù)，表示取代基與主體結(jié)構(gòu)中苯環(huán)的連接鍵。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述酸敏感性取代基的結(jié)構(gòu)選自

中的一種；

其中，表示取代基與主體結(jié)構(gòu)中苯環(huán)的連接鍵。

7.一種正性光刻膠組合物，其特征在于，所述正性光刻膠組合物包括如權(quán)利要求1～6任一所述聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂；其中，所述聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(I)時，其取代基R_a1～R_a20全部或部分為酸敏感性取代基；所述聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(II)時，其取代基R_b1～R_b15全部或部分為酸敏感性取代基。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的正性光刻膠組合物，其特征在于，所述正性光刻膠組合物中，聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(I)時，其取代基R_a1～R_a20中酸敏感性取代基的數(shù)目至少占取代基總數(shù)的25％；所述正性光刻膠組合物中，聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(II)時，其取代基R_b1～R_b15中酸敏感性取代基的數(shù)目至少占取代基總數(shù)的25％。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的正性光刻膠組合物，其特征在于，按質(zhì)量百分數(shù)計，所述正性光刻膠組合物包括：

聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂 1～10wt％，

光酸產(chǎn)生劑 0.01～1wt％，

光刻膠溶劑 余量。

10.一種負性光刻膠組合物，其特征在于，所述負性光刻膠組合物包括如1～6任一所述聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂；其中，所述聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(I)時，其取代基R_a1～R_a20全部或部分為羥基；所述聯(lián)苯取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(II)時，其取代基R_b1～R_b15全部或部分為羥基。