[發明專利]樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂、正性光刻膠組合物和負性光刻膠組合物

有效

• 申請號: 201710578509.8
• 申請日: 2017-07-17
• 公開（公告）號: CN107266319B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 陳金平;李嫕;于天君;曾毅
• 申請（專利權）人: 中國科學院理化技術研究所
• 主分類號: C07C69/96
• 分類號: C07C69/96;C07C68/06;C07D309/12;G03F7/039;G03F7/038
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 趙曉丹

1.一種樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，包括如下分子結構：

其中，式(I)中取代基R_a1～R_a28、式(II)中取代基R_b1～R_b21、式(III)中取代基R_c1～R_c14各自獨立地表示氫原子、羥基、甲氧基或酸敏感性取代基，式(I)中取代基R_a1～R_a28相同或不同，式(II)中取代基R_b1～R_b21相同或不同，式(III)中取代基R_c1～R_c14相同或不同，同一苯環上的多個取代基不能同時為氫原子。

2.根據權利要求1所述的一種樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述酸敏感性取代基為烷烴類碳酸酯取代基、烷烴類α-醋酸酯取代基或環狀縮醛取代基。

3.根據權利要求2所述的一種樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述烷烴類碳酸酯取代基結構為：其中C_n表示碳原子數不大于12的烷基，表示取代基與主體結構中苯環的連接鍵。

4.根據權利要求2所述的一種樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述烷烴類α-醋酸酯取代基的結構為其中C_n表示碳原子數不大于12的烷基，表示取代基與主體結構中苯環的連接鍵。

5.根據權利要求2所述的一種樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述環狀縮醛取代基的結構為其中m為1至4的任一整數，表示取代基與主體結構中苯環的連接鍵。

6.根據權利要求1或2所述的一種樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂，其特征在于，所述酸敏感性取代基的結構選自

中的一種，其中表示取代基與主體結構中苯環的連接鍵。

7.一種正性光刻膠組合物，其特征在于，所述正性光刻膠組合物包括如權利要求1～6任一所述樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂；其中，所述樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(I)時，其取代基R_a1～R_a28全部或部分為酸敏感性取代基；所述樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(II)時，其取代基R_b1～R_b21全部或部分為酸敏感性取代基；所述樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(III)時，其取代基R_c1～R_c14全部或部分為酸敏感性取代基。

8.根據權利要求7所述的正性光刻膠組合物，其特征在于，所述正性光刻膠組合物中，樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(I)時，其取代基R_a1～R_a28中酸敏感性取代基的數目至少占取代基總數的25％；所述正性光刻膠組合物中，樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(II)時，其取代基R_b1～R_b21中酸敏感性取代基的數目至少占取代基總數的25％；所述正性光刻膠組合物中，樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂為式(III)時，其取代基R_c1～R_c14中酸敏感性取代基的數目至少占取代基總數的25％。

9.根據權利要求7或8所述的正性光刻膠組合物，其特征在于，按質量百分數計，所述正性光刻膠組合物包括：

樹枝狀多苯基取代金剛烷衍生物單分子樹脂 1～10wt％，

光酸產生劑 0.01～1wt％，

光刻膠溶劑 余量。