[發(fā)明專利]基于可變彈性模量復合薄膜梁的多路射頻微機電開關有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710568552.6 | 申請日： | 2017-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN107293449B | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 田文超;李平;時婧 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | H01H59/00 | 分類號： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 陜西電子工業(yè)專利中心 61205 | 代理人： | 韋全生;王品華 |
| 地址： | 710071 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 可變 彈性模量 復合 薄膜 射頻 微機 開關 | ||
1.一種基于可變彈性模量復合薄膜梁的多路射頻微機電開關，其特征在于，包括壓電驅動電極(1)、復合薄膜梁(2)、基底(3)、射頻傳輸線(4)和地線(5)，所述基底(3)縱向的兩端設置有錨點；所述射頻傳輸線(4)至少有三條，并排固定在基底(3)的上表面，用于實現(xiàn)多種信號的傳輸；所述地線(5)固定在基底(3)兩端的錨點上；所述復合薄膜梁(2)由自上而下層疊的第一介質層(21)、導電層(22)和第二介質層(23)復合而成，其兩端固定在地線(5)的表面，且導電層(22)的兩端與地線(5)接觸；所述壓電驅動電極(1)由并排固定在復合薄膜梁(2)上表面的至少三個驅動電極單元組成；所述射頻傳輸線(4)和導電層(22)均采用二維單層碳原子材料；所述介質層(21)采用形狀記憶聚合物。
2.根據(jù)權利要求1所述基于可變彈性模量復合薄膜梁的多路射頻微機電開關，其特征在于，所述復合薄膜梁(2)，其縱向中軸線與基底(3)的縱向中軸線重合。
3.根據(jù)權利要求1所述基于可變彈性模量復合薄膜梁的多路射頻微機電開關，其特征在于，所述并排固定在復合薄膜梁(2)上表面的至少三個驅動電極單元，驅動電極單元采用鈦酸鉍鈉基無鉛壓電陶瓷材料，且相鄰驅動電極單元之間的距離相等。
4.根據(jù)權利要求1所述基于可變彈性模量復合薄膜梁的多路射頻微機電開關，其特征在于，所述射頻傳輸線(4)，采用石墨烯材料，且與基底(3)的縱向中軸線垂直。
5.根據(jù)權利要求1所述基于可變彈性模量復合薄膜梁的多路射頻微機電開關，其特征在于，所述導電層(22)，采用石墨烯材料。
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