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[發明專利]一種高致密石英坩堝阻擋層制備方法和多晶鑄錠爐在審

專利信息
申請號: 201710566494.3 申請日: 2017-07-12
公開(公告)號: CN107299392A 公開(公告)日: 2017-10-27
發明(設計)人: 陳偉;肖貴云;姜志興;李林東;李亮;閆燈周;黃晶晶;呂錦滇;金浩 申請(專利權)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分類號: C30B28/06 分類號: C30B28/06;C30B29/06;C01B33/021
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227 代理人: 羅滿
地址: 334100 江西*** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 致密 石英 坩堝 阻擋 制備 方法 多晶 鑄錠
【權利要求書】:

1.一種石英坩堝制備方法,其特征在于,包括:

步驟1,在坩堝主體的內壁噴涂純度大于7N的高純石英砂層;

步驟2,在所述高純石英砂層上設置鈍化層。

2.如權利要求1所述石英坩堝制備方法,其特征在于,在所述步驟2之后,還包括:

步驟3,將所述坩堝主體在1200℃~1500℃下保溫1小時~5小時,使得所述高純石英砂層的高純石英漿形成玻璃態。

3.如權利要求1所述石英坩堝制備方法,其特征在于,所述高純石英砂層的石英顆粒為1μm~10μm。

4.如權利要求1所述石英坩堝制備方法,其特征在于,所述高純石英砂層的厚度為0.3mm~3mm。

5.如權利要求1所述石英坩堝制備方法,其特征在于,所述步驟2,包括:在所述高純石英砂層上噴涂鈍化層。

6.如權利要求5所述石英坩堝制備方法,其特征在于,所述鈍化層為氮化硅鈍化層。

7.如權利要求6所述石英坩堝制備方法,其特征在于,所述氮化硅鈍化層的厚度為1mm~3mm。

8.一種多晶鑄錠爐,其特征在于,包括如權利要求1-7任意一項所述石英坩堝制備方法制成的石英坩堝。

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