[發(fā)明專利]一種基于復(fù)合白光干涉器件的光位移傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710565728.2
• 申請日: 2017-07-12
• 公開（公告）號(hào): CN107478156A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭普超;包艷;張兵;張超;楊楠
• 申請（專利權(quán)）人: 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02
• 代理公司: 中國航空專利中心11008
• 代理人: 陸峰

1.一種基于復(fù)合白光干涉器件的光位移傳感器，其特征在于：Y型光纖(2)的兩個(gè)側(cè)枝分別連接寬帶光源(1)和波長解調(diào)器(8)，Y型光纖(2)的主枝連接透鏡組(4)安裝于殼體(3)內(nèi)；反射鏡(5)將透鏡組(4)的準(zhǔn)直光反射到復(fù)合白光干涉組件(6)上，連桿(7)帶動(dòng)反射鏡(5)在殼體(3)內(nèi)運(yùn)動(dòng)，經(jīng)反射鏡(5)反射的準(zhǔn)直光光斑在復(fù)合白光干涉組件(6)上移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)光位移傳感器的位移測量；復(fù)合白光干涉組件(6)是復(fù)合白光干涉器件粘接在金屬襯板上。

2.如權(quán)利要求1所述的光位移傳感器，其特征在于：入射光路為寬帶光源(1)由Y型光纖(2)的一個(gè)側(cè)枝傳入，經(jīng)準(zhǔn)直透鏡組(4)準(zhǔn)直，然后水平射入反射鏡(5)，再垂直照射復(fù)合白光干涉組件(6)；白光干涉光以自準(zhǔn)直狀態(tài)沿入射光路返回，經(jīng)Y型光纖(2)另一個(gè)側(cè)枝傳入波長解調(diào)器(8)；波長解調(diào)器(8)獲取白光干涉信號(hào)后，再由信號(hào)處理單元(9)計(jì)算出光位移傳感器所在的位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于復(fù)合白光干涉器件的光位移傳感器，其特征是，經(jīng)過反射鏡(5)的入射光斑照射在復(fù)合白光干涉組件(6)上；所述復(fù)合白光干涉組件(6)由兩個(gè)三棱柱玻璃器件拼接組成，其中入射光一半經(jīng)反射照射在一個(gè)三棱柱玻璃器件的a面上，另一半入射光透射照射在另一個(gè)三棱柱玻璃器件的b面上，a面和b面均為全反射面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光位移傳感器，其特征在于：所述復(fù)合白光干涉組件(6)b面所在的三棱柱玻璃器件為直角三棱柱，a面所在的三棱柱玻璃器件是在直角三棱柱基礎(chǔ)上，沿直角三棱柱棱邊方向，在a面上去掉一個(gè)楔形部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光位移傳感器，其特征在于：a面所在的三棱柱玻璃器件是在直角三棱柱基礎(chǔ)上，沿直角三棱柱棱邊方向，在a面上增加一個(gè)楔形部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于復(fù)合白光干涉器件的光位移傳感器，其特征在于：金屬襯板與殼體(3)之間通過螺釘連接。